定位检测噪声： XY≤0.3nm, Z≤15pm
样品尺寸： 直径≤20mm, 高度≤10mm
样品台移动范围： 5mm*5mm
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压电响应力显微术 (PFM)
生物材料与铁电材料等的成像
许多材料的机电耦合行为，如生物基细胞膜和蛋白质，铁电和压电材料从现
在开始都可以用压电响应力显微镜来表征。
这一成像技术在开发基于铁电畴变等的新型电子设备方面引起了极大的关
注，在对将来电脑存储等领域的诸多应用方面的发展有着巨大的潜力。
压电响应力显微术是在扫描探针显微镜的基础上，在接触式扫描过程中对探
针施加一个交流电压，利用材料自身逆压电效应来探测样品表面形变的一类技术
总称（见图1）。压电响应力显微术已经成为铁电材料研究的重要手段，广泛应
用于纳米尺度畴结构的三维成像、畴结构的动态研究、畴结构控制和微区压电、
铁电、漏电等物理性能表征等领域。其最大的优势就是同时具有极高的分辨率
（~10-20 nm）和灵敏度（~0.1 pm/V）。
产品货期: 120天
整机质保期: 12月
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后10天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 30天
核心零部支持时间: 10年
是否支持上门巡检: 是
