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特点
·大幅提高的驱动速度(X1轴:80mm/s,Z2轴立柱:30mm/s)进一步减少了总的测量时间。
·为了长时间保持横往返直线度规格,三丰公司采用极坚硬的陶瓷导轨,既抗老化又经久耐磨。
·驱动器(X1轴)和立柱(Z2轴)均配备了高精度线形编码器(其中Z2轴上为ABS型)。因此,在垂直方向对小孔连续自动测量、对较难定位部件的重复测量的重复精度得以提高。
·在与CNC机型配套使用的众多外设选件的支持下,可实现自动测量。
·表面粗糙度测量,直线度:±(0.05+0.001L)μm
·符合JIS'82/'94/'01,ISO,ANSI,DIN, VDA等表面粗糙度的国际标准。
轮廓测量技术参数
X1轴
测量范围: 100mm或200mm
分辨率: 0.05μm
驱动速度: 0-80mm/s外加手动
测量速度: 0.02-5mm/s
移动方向 : 向前/向后
直线度 0.8μm/100mm,2μm/200mm 以X1轴为水平方向上
直线位移精度(20℃时) :
±(1+0.01L)μm(SV-C3200S4,H4,W4)
±(0.8+0.01L)μm(SV-C4500S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(SV-C3200S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(SV-C4500S8,H8,W8)L为驱动长度(mm)
倾角范围: ±45°(带有×1轴倾斜单位)
Z2轴(立柱)
垂直移动: 300mm或 500mm
分辨率: 1μm
驱动速度: 0-30mm/s外加手动
Z1轴(检出器)
测量范围 : ±30mm
分辨率: 0.04μm(SV-C3200)
0.02μm(SV-C4500)
精度(20℃): ±(1.6+|2H|/100)μm(SV-C3200)
±(0.8+|2H|/100)μm(SV-C4500)
测针上/下运作: 弧形移动
测针方向: 向上/向下(SV-C3200)
(上下可连续测量)(SV-C4500)
测力: 30mN(SV-C3200)
10,20,30,40,50 mN(SV-C4500)
跟踪角度: 向上:77°,向下:83°
测针针尖 尖端半径:25μm,硬质合金尖端
表面粗糙度测量技术参数
X1轴
测量范围 : 100mm或200mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度 : 0-80mm/s外加手动
移动方向; 向后
直线度: (0.05+1L|/1000)μm(S4, H4, W4型)
0.5μm/200mm(S8, H8, W8型)
垂直移动: 300mm或500mm
检出器
范围/分辨率: 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
检测方法: 无轨/有轨测量
测力 : 0.75mN或4mN
测针针尖: 金刚石,90°/5μmR (60°/2μmR)
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