日本三丰超级轮廓测量仪CV-3000CNC

特点

·高精度CNC轮廓/形状测量仪。

·X1,(Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s，确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。

·带α轴的型号，可通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。

·CV-4000CNC系列的驱动装置集成了激光全息光栅尺检出器，可以在Z1轴（垂直方向）的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。

·带有Y轴工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。

·可以通过同时控制X，Y两轴，对斜面进行测量。

·Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检出器将自动停止。

·提供易于操作的控制盒，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。

·通过USB与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。

技术参数

X1轴

      测量范围:            200mm

      分辨率:              0.05μm

      测量速度:            0.02-2mm/s

      直线度:              2μm/200mm

      指示精度（20℃时）:  ±（1+4L/200）μm（CV-3000CNC）

                                       ±（0.8+4L/200）μm（CV-4000CNC）

α轴

       倾斜角度:   -45°(CCW）-+10°(CW）

     分辨率:     0.000225°

     倾斜范围:   6°/S

Z2轴（立柱）

     垂直移动:   300mm或500mm

     分辨率:     0.05μm

Z1轴（检测器）

      测量范围:             ±25mm

      分辨率:                0.2μm（CV-3000CNC）

                                0.05μm（CV-4000CNC）

       指示精度（20℃时）:    ±（2+|4H|/100）μm（CV-3000CNC）

                                         ±（0.8+|0.5H|/25）μm（CV-4000CNC）

       测力:                  30mN

      测针针尖:              半径：25μm，硬质合金针尖

Y轴

      测量范围:             200mm

       分辨率:                0.05μm

       直线度:               2μm/200mm

       指示精度（20℃时）:   ±（2+2L/100）μm