ATLEX-1000-I高重频准分子激光器
--High frequency excimer laser
高重复频率（可达1000Hz）
全新技术的金属陶瓷腔
超快电晕预电离技术
采用固态开关，工作寿命长
激光腔体<3L
全部风冷，温度控制
方便清洗的光学镜架
内部集成4个电磁阀，方便气体处理
系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
能量稳定模式
符合欧洲CE标准，RoHS认证
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气体介质 |
KrF |
XeCl |
单位 |
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波长 |
248 |
308 |
Nm |
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最大脉冲能量 |
15 |
8 |
mJ |
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最大平均功率 |
8 |
10 |
W |
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最大重复频率 |
1000 |
Hz |
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脉冲宽度 |
5-8 |
ns |
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光束直径(VxH) |
4x6 |
mm |
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光束发散角(VxH) |
1x2 |
mrad |
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能量稳定性 |
<3 |
% |
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冷却方式 |
风冷 |
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