产地类别： 国产
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| 型号 | TAMS-F-60-A |
| 探测器类型 | 非制冷焦平面 |
| 工作波段∕工作温度 | 8 - 14μm；－15℃ - ＋50℃ |
| 空间分辨率∕帧频 | 320×240；最高60帧∕秒 |
| 测量温度范围∕精度 | －20℃ - ＋120℃∕0 - ＋350℃；测量精度：±2℃ |
| 控温平台 | 控温范围：＋5℃ - ＋85℃；分辨率：±0.1℃ |
| 标准镜头 | 视场：25°×18.8°；焦距：40㎜；调焦方式：自动或手动 |
| 显微镜头 | 分辨率：20μm；视场：8×6㎜ - 32×24㎜；视场角≤25°×18° |
| XY位移台 | 电动；平台尺寸：300×300㎜；XY行程：100㎜；分辨率：1μm |
| 垂直位移台 | 电动∕行程：100㎜；分辨率：1μm |
| 探针台 | XYZ行程：12㎜×12㎜×12㎜；分辨率：2μm |
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 中国科学院微电子所昆山分所 | 2012-12-18 |
| 江苏物联网发展研究中心 | 2012-06-14 |
| 中国科学院微电子研究所 | 2012-04-06 |
