仪器种类: 四极杆质谱
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专为要求超痕量检测的高纯半导体材料行业应用而设计
7700s为是为半导体行业高纯材料分析而设计的超净化系统,针对的是 ppt 级半导体行业超痕量元素。7700s额外配置有高效的样品引入系统,五路ICP离子源气路管线和两路碰撞/反应池气体管线(ORS3)的反应性气体管路是7700s的标准配置)-为目标元素和样品类型均十分确定的半导体行业样品提供超强的干扰消除能力。
7700s保留和升级了无与伦比的STS冷等离子体能力,为高纯材料中极易电离的目标元素的测定提供了行业中最先进的性能,并且STS冷等离子体仍是业内唯一的,可以用同一条件同时分析半导体行业要求的多种目标元素的技术。材料行业应用而设计。
产品特点:
配置新的第三代ORS3碰撞反应池系统,增强了氦模式的性能,消除干扰的能力比以前更好。
如去离子水、过氧化物,氢氟酸等材料中的Li、Na、K、Ca检测提供行业标准方法。
为所有常用的的半导体应用设置了内置式调谐和方法模板,包括碰撞反应池模式以及冷等离子体模式,以确保获得最高质量的数据和最低的背景等效浓度(BECs)。
为所有常见的半导体样品类型提供标准的操作规程,简化方法建立的过程
较低的热量输出和降低排气量,重新设计了冷却空气流路系统,这对超净室安装的仪器尤为重要。
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