仪器简介：
“一体化系统”描述
这种RES101型的离子减薄设备是一个紧凑的台式单元，所有部件都装配在一起，而且由于它高度的灵活性，它方便地适用于为透射电镜、扫描电镜、光学显微镜制备各种不同材料的样品。
所有的离子束制备方法都能在一个单元内完成：
·用小角度最小可为0°进行单面或双面减薄，制备TEM试样。
·制备扫描电镜和光学显微镜样品
·表面情洗
·为增强衬度而进行表面减薄
·可加工样品的最大直径为25mm
·45°～90°倾角的减薄可以研究截面结构
·用各种靶材对SEM或TEM样品进行原位喷镀
·为扫描电镜、光学显微镜，透射电镜提供各种样品台。
计算机控制
RES101 完全由计算机控制，由于使用了定位马达，各种减薄参数可以用步进解码器精确设定。所有的参数都列在菜单中，可以通过触摸屏来设置。 启动RES 101的程序后，减薄过程就完全在电脑的控制之下。
由此可以实现以下目标：
·通过与用户友好的RES101程序能够精确设置和控制所有的过程参数。
·通过以下手段实现样品制备的完全自动化：
1.设定完整的减薄程序
2.为实现精确的重复制备而设置的程序库
3.光学图像处理的精确自动化终端特性
4.用CCD照像机和减薄过程的实时图像存储控制样品
5.外部电脑通过局域网（LAN）控制减薄
视频监测器
由于有了功能量大的CCD照像机，可以对样品的整个减薄过程进行观察，并对减薄过程进行评估。CCD相机的电动放大物镜的光学放大倍数为0.2~2。（选件）另加显微镜放大为4~20。实时图像可随时存储。样品用直接光源和背景光源照明。
网络兼容性
由于使用了附加的软件，可以使用另一台PC通过局域网（LAN）来监控减薄过程。
马达控制所有的动作
所有动作都可以通过带有步进解码器的直流电机实现，这样使精确和可重复的设置成为可能。设置精度为0.1°（角度）或0.1mm（位移）。
真空和气路系统
两级真空系统包括一个膜片泵和一个分子泵（速率701/s），可获得小于2×10-6mbar的无油超真空。这个指标是离子真空规测得的。这种创新性的计算机控制气路系统可以保证离子源在6×10-5~4×10-4 mbar的工作压力下稳定工作。样品传送在真空室中进行时，通过真空加载-锁定装置在真空条件下完成操作只需一分钟。
离子源
由于采用特别技术和马鞍形场离子源，可以连续工作400小时以上，而由于导热性好并不需要冷却水。离子源的能量可以变化，范围为1kv ~10kv，离子束流最大为3.5mA（每个源）。离子束的宽度取决于加速电压：10kv 时为0.8mm，2kv时约为2.5mm。因此，这套RES101设备既可以高速率减薄，也可以慢速减薄制备高分辨透射电镜（HRTEM）样品。
减薄参数可以大范围调整
RES101 用了两个离子源，相对设置，这样在加工样品时既可以单面加工也可以双面加工。减薄角度0°～90°可调。由于减薄角度和离子能量可大范围调整，扫描电镜，透射电镜及光学显微镜试样制备的所有问题都能解决。
The RES 101 is a compact bench unit, in which all the components are mounted in a single housing. Thanks to its high level of flexibility, it is ideally suited for the preparation of samples from a widely diversified range of materials, for all Transmission Electron, Scanning Electron, and Light Microscopy.
主要特点：
·完全由计算机控制的系统
·减薄角度可在0°～90°之间任意变化；
·为使用者提供最高灵活性的“一体化系统”
·加载——锁定系统可以保证永久的高真空
·离子能量可变，以适应不同能量的样品减薄
·通过LAN可对减薄过程进行外部控制
