仪器简介:
LCMK-EM微弱电流测量装置,是专为MM3A-EM开发的电流测量工具,具有低电阻、低噪音的优点。测量精度可达1pA。LCMK-EM采用了一种双重屏蔽的导线以减少电流渗漏,并使输入电流放大到最大。大气一边的输出可以直接连到一个SMU上,以使级数电阻尽可能低。
技术参数:
Current Measurement limit 1 pA
Insulation leakage current 50 fA at 1V
Signal Conductor Resistance 0.9Ω
Maximum voltage 210V
Maximum current 200 mA
主要特点:
LCMK-EM安装在纳米显微操纵仪前端,对电信号的及其灵敏,广泛应用于半导体微电流测量及失效分析