·无油高真空系统，适合于高分辨率FE-SEM观察前眼皮镀膜及TEM/EDX喷涂要求；也可应用于制备多层膜样品
·功能：金属溅射镀膜/辉光放电/蚀刻（样品清洁）/碳丝蒸发镀膜/碳棒蒸发镀膜/金属热阻蒸发镀膜/加装液氮冷台（适配EMVCT100）
·带有金属靶挡板，适用于特殊溅射靶材的预溅射，确保镀膜纯度
·可选配石英膜厚监控器，可程序化控制膜厚，并反馈膜仪
·样品室尺寸：标配Ø106mm，选配Ø205mm（可容纳wafer 152mm/6"圆形或127mm/5"方形）
·操作简单，带有LED指示，机身印有操作说明
