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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
技术参数
设备型号 | OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL |
炉管尺寸 | 2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L | 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L | 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L |
产品优点 |
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等离子发射源 |
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真空泵机组 | |||
质量流量计 |
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控温软件 |
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总尺寸 |
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质保期和认证 | 一年质保期 (耗材部分:如炉管,“O”型高温密封圈,加热元件等不在保修范围) | ||
国家专利 | 专利名称:可组合式等离子增强化学气相沉积装置 专利编号:ZL-2011-2-0355777.1 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 | ||
使用注意事项 |
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