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机械部分： |
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扫描系统： |
X / Y / Z 三轴超高性能线性电机驱动扫描系统，X / Y 轴具有内置磁力悬浮机构，在高速扫描过程中可隔绝振动的影响，并采用光学编码接口的驱动方式，Z 轴采用触发接口的驱动方式 |
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扫描范围： |
X-Y 方向：最小 0.2×0.2mm，最大 430×430mm， Z 方向：100mm |
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最大扫描速率： |
1,500 mm/s （根据扫描设置参数自动调整或手动调整） |
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扫描加速度： |
1.5 m/s2 |
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光学编码器分辨： |
15 nm |
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重复精度： |
+/- 0.1μm （由扫描台内置光栅尺分辨率决定） |
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Z-轴自动对焦： |
专利号：DE102006005449A1 |
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水槽尺寸： |
670 x 560 x 150 mm或670 x 560 x 70 mm（针对晶圆Wafer检测） |
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电子部分： |
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脉冲接收器： |
4× 500MHz 带宽 |
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换能器可选范围： |
5MHz - 400MHz |
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ADC 信号转换： |
4×500M sample/s AD模数转换卡 |
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双通道接口： |
可在加装透射接收探头的情况下，将透射和C-扫描同时一次性进行
（S-扫描模式） |
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工控计算机： |
4×PC 工作站，CPU 3GHz 双核处理器，4GB 内存， 250G 以上硬盘，DVD-RW刻录光驱， 高速图像卡， Windows 7操作系统，PS2，RS232，USB及网络接口，1台26" LCD 监视器（工控机的配置将随市场的升级而有所变化，以实际到货配置为准） |
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操作软件部分： |
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扫描模式： |
A-，B-，C-，D-，G-，P-，X-，Z，3D-，顺序扫描，自动扫描，Tray-托盘扫描，B-scan定量测量，包括渡越时间功能的A-scan数字波形实时显示，预扫描和快速预扫描模式；
扫描模式选件：Through 透射扫描（S-扫描: 透射+ C-扫描同时进行） |
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图像模式： |
正、负、全峰值波形图像模式选择；平均值图像模式；渡越时间图像模式；相位翻转检测图像模式；表面跟踪图像模式； |
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图像分辨率： |
最小 125 x 125 像素，最大 32,000 x 32,000像素 |
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图像输出： |
bmp，jpg，sam格式 |
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定量测量： |
自动分层面积百分比计算；自动尺寸标识；X - Y 长度计算；声阻抗计算及颜色设定； |
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图像着色： |
根据相位翻转自动着色；根据灰度等级手动着色；根据渡越时间手动着色，根据厚度变化手动着色（已知材料的阻抗值）； |
分析软件部分： SAMnalysis IA :
图像处理，包括图像增强、滤波、平滑、锐利等常规的图像处理功能；缺陷的量化分析，包括面积、数量、尺寸等统计功能；渡越时间分析；推拉窗口分析；厚度估计；声速计算；分层缺陷分析；波形比较分析；三维图像显示和分析； |
