主动隔振台-隔振台-Herz

          主动隔振台-主动式隔振台-隔震台-Herz

 为各类透射式电子显微镜(TEM)主动隔振台、扫描式电子显微镜(SEM)主动式隔振台、发射式电子显微镜主动隔振台、探针显微镜主动式隔振台、扫描隧道显微镜隔震台、原子力显微镜（AFM）主动隔振台、横向力显微镜主动式隔振台。白光干涉仪隔震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台！

产品特点

主动隔振频率 ：1Hz - 200Hz

被动隔振频率>200Hz

5-20ms的响应时间

安装简单，容易使用

稳定性高，能无故障连续使用多年

紧凑、模块化的多功能设计

多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用

产品应用


• SEM                            

• TEM

• UHV-SPM                         

• 光刻

• 光谱测量                        

• 高精度测量

• 其他高精密仪器




性能优势 


• 系统主动检测输入振动并动态消除

• 六个空间方向的自由隔振

• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振

• 低频隔振性能优秀

• 无低频共振、无空气要求

 技术参数

型号：AVI-400M
系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
主动隔振范围：大致为0.5 Hz - 200 Hz
被动隔振范围:大致为200 Hz以上
显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
LEDs 指示输出阶段的过载情况。
单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
隔振单元重量: 26kg
负载能力:800 kg (同等/低重心)
输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
功耗：通常27W
校正力：水平最大12N，垂直最大24N
系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N
温度范围：5℃ - 40℃
相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室内/室外使用：仅用于室内

应用案例：






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