INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计, 在苛刻的生产环境中
具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点, 如一键调零功能和设点
调整. 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的
长使用寿命. 独特的传感器屏蔽 (专利技术) 保护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字
电子学加强了EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D 真空计为从电源接通后的快速
稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.
优点
■ 全刻度范围从 100 毫乇… 1000 乇
■ 电源接通后快速稳定
■ 暴露大气压后快速恢复
■ 抗腐蚀性陶瓷传感器
■ 卓越的长期讯号稳定性
■ 温度补偿
■ 保护传感器防止污染
■ 一键调零功能
■ 宽范围电源
■ 两个设点
■ RS232接口
■ 符合清洁室条件
用途
在要求高的应用中用于精确和快速的压强测量:
■ 用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 等半导体制造设备
■ 数据贮存和显示器制造设备
■ 工业真空设备
■ 一般高精度压强测量
