SionTM 射频放弧探测器
SionTM 射频放弧探测器

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Sion TM RF Detector

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美洲

  • 金牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
特征概览:
  • 非接触式超小设计,监测高功率射频电源的电流及电压传输
  • 方便替换传统的光谱仪,准确探测刻蚀工艺的终点
  • 监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀,缩短刻蚀时间和降低气体成本,提高生产机台使用率
  • 高速采样频率,可达2万赫兹
 
应用:
  • 用于半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀腔体工艺等离子体放弧探测及刻蚀终点探测(Endpoint)。
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