AIGX 有源离子真空计_参数_价格-仪器信息网

核心参数

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紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从6.6x10-2到6.6x10-10mbar（5x10-2到5x10-10Torr），并且提供1V/decade线性输出。Edwards的新型AIGX真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
得益于极低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。

功能和优势

全面的 8 decade 测量功能，可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
有两种款型可用，每一种又有三种真空联轴器变型：
- “D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口；
- “S”型具有增强的功能，与 Edwards 的各种控制器兼容。
与主要竞争对手相比，带电粒子制程污染减少了 30%。
自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定，从而可以在更高压力下保持输出精度。
在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
创新性设计消除了 X 射线限制的影响。
双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
输入电压范围宽。
电子器件极易拆卸以进行最高达 200 °C 的加热。
“S”型提供有无缝的自动发射电流切换，延长了灯丝寿命。
“S”型提供有诊断输出，指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”，以帮助进行故障排除。
“S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

技术数据

压力范围	6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar
	（5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr）
电源供给	+14.5 至 +30.0 V 直流
功耗	正常工作：7W（最大），
	脱气：14W（最大）
输出信号	线性，1 V / decade
响应时间	1.33 x 10-8 mbar (>10-8 Torr) ˜ 100 ms
	1.33 x 10-8 mbar (<10-8 Torr) ˜ 1-2 s
设定点（开路集电极晶体管）	仅限“S”型上的 1 个
暴露于真空中的材料	钨、钽 Pt clad Mo、镀 YHria 铱、St St 304L 和 UHV 兼容玻璃/陶瓷
最大电压	30 V（直流）
最大电流	100 mA（最大）
温度范围
工作温度	0 至 +40 °C
存储温度	-30 至 +70 °C
外部接口连接器	8 路 FCC68/RJ45 插座
重量	260g