仪器种类： 分子泵
产品类型： 有油泵
| 入口法兰 | ISO100K |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >1 x 104 |
| 极限压力 | 6.5 x 10-6 Pa |
| 最大工作压力 | 1.3 x 10-1 Pa |
| 允许的前级压力 | 67 Pa |
| 额定速度 | 55000 rpm |
| 启动时间 | <6 分钟 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 冷却方法 | 自然冷却（加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却） |
| 润滑油 | 不需要 |
| 前级泵 | 240 lmin-1 |
| 泄露磁通量 | |
| 轴向方向 | <100 m/Gauss |
| 径向方向 | <100 m/Gauss |
| 环境温度范围 | 0 至 40 °C |
| 存储环境温度范围 | -25 至 55 °C |
| 重量 | 15 kg |
EDWARDS实验室用EM双级旋片泵
型号：E2M0.7 E2M1.8 E1M18 E2M18 E2M28 5万 - 10万
EDWARDS实验室用RV油封旋片泵
型号：RV 3, RV 5, RV 8, RV 12 3万 - 5万
EDWARDS干式涡旋泵nXDS
型号：nXDS6i nXDS10i nXDS15i nXDS20i 5万 - 10万涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。其使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至最低。
