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ArF
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KrF
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XeCl
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XeF
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波长(nm)
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193
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248
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308
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351
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最大脉冲能量(mJ)
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230
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450
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300
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275
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平均功率(W)
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PM-848
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30
|
80
|
50
|
45
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PM-846
|
15
|
40
|
25
|
22
|
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PM-844
|
6
|
20
|
12
|
11
|
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PM-842
|
3
|
10
|
6
|
6
|
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最大重复频率(pps)
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PM-848
|
200
|
200
|
200
|
200
|
PM-846
|
100
|
100
|
100
|
100
|
|
PM-844
|
40
|
50
|
50
|
50
|
|
PM-842
|
20
|
25
|
25
|
25
|
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脉冲持续时间(ns)(FWHM,nominal)
|
12-20
|
||||
光束直径(mm)(V×H,nominal)
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8-12×26
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||||
光束发散(mrad)(V×H,nominal)
|
1×3
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||||
时间抖动(ns)
|
±2
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