在线量子级联激光器气体分析仪

Q-MACS Process fibre

                                                 在线量子级联激光器气体分析仪

Q-MACS Process fibre是德国Neoplas公司研发一款使用光纤传导的激光气体分析仪，用于工业过程在线气体监测。

应用：

· 过程监控和表面处理的控制

· 光伏发电和半导体工业中的腔匹配

· 通过在线的蚀刻深度的控制测量来监控蚀刻过程

· 化工和冶金生产中的气体注入和气体混合的控制

· 现场密封性检测

特点：

· 双通道设置使其实现长时间的稳定性并且通过红外光纤直接联接到测量路径。

· 装备红外光源和红外光纤的双通道红外光谱仪

· 在生产过程中的进行质量管理，而不是通过下流程的验收抽样来管控质量

· 在线实时的高灵敏度监控

· 激光器和检测器在室温下运行不需要大范围冷凝

· 简洁，模块化，可以扩展，容易使用

· 实时测量绝对的分子浓度

技术规格：

· 分辨率：PPb范围

· 响应时间：毫秒级

· 时间分辨率：毫秒级，根据需要可以到亚微秒

· 脉冲宽度：8ns…256ns

· 脉冲频率：最大1MHZ