在线量子级联激光器气体分析仪

Q-MACS Process DC

在线量子级联激光器气体分析仪

对于内部不能安装测量设备的工艺室，Q-MACS Process DC是德国Neoplas公司研发的一款可以安装在这种工艺室的外面进行在线测量的轻便的量子级联激光器监控系统。

应用：

· 过程监控和表面处理的控制

· 光伏发电和半导体工业中的腔匹配

· 通过在线的蚀刻深度的控制测量来监控蚀刻过程

· 化工和冶金生产中的气体注入和气体混合的控制

· 现场密封性检测

· 表面处理的在线过程控制（半导体，汽车，塑胶工业）

特点：

· 装备两个红外光源的双通道红外光谱仪，可以同时测量多种物质

· 激光器和检测器在室温下运行不需要大范围冷凝

· 简洁，模块化，可以扩展，容易使用

· 实时测量绝对的分子浓度

· 测量的物质有：CxHy, CO, CO2, NO, NO2, N2O, NH3, NF3, BCl3, B2H6, SiF4, COCl2…

· 在生产过程中的进行质量管理，而不是通过下流程的验收抽样来管控质量

· 在线实时的高灵敏度监控

· 提高了过程的稳定性和再现性

技术规格：

· 灵敏度：ppb范围

· 响应时间：毫秒级

· 时间分辨：毫秒级

· 脉冲宽度：8ns…256ns

· 脉冲频率：最大1MHZ