光刻机
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OAI

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MODEL 800MBA

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美洲

  • 金牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
美国OAI成立至今已有35年历史,在光源制造和测量方面一直处于世界领先领域。
OAI光源以工作稳定,出光效率高,高均匀性和散射角小著称。且可提供20inch以上的大面积光源。 OAI光功率计在工业上有广泛应用,包括NIKON,CANON,ASM等知名光刻机制造商均使用OAI光功率计。
OAI也生产光刻机,尤其是OAI MODEL 800系列双面曝光机,在世界范围内有着非常广泛的应用。

OAI MODEL 800MBA
双面对准曝光机
曝光模式 接近、软/硬接触、真空接触
掩膜尺寸最大9"x9"
最大适合200mm晶圆曝光
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