产地类别: 进口
看了null的用户又看了
A100-AFM装备了闭环样品定位系统。
它保证了定位的绝对精度在10纳米(这比市场上的闭环原子力显微镜的性能好10倍)。
这些突出的特性,再配以APE研究的独特的软件工具,使得这款仪器适用于纳米光刻。
A100-AFM SGS 配备了弯曲扫描镜台,这保证了高平面度使得用户可以进行大范围的测量(可以达到100微米)。
APE研发了原子力显微镜的附加工具,这可以用于一些具体的测量模式(如EFM(静电力显微镜),MFM(磁力显微镜),Liquid cell(液体池))。
镜台
扫描镜台具有包含张力测量传感器的独立定位系统
扫描器技术资料:
X-Y扫描范围:
100*100微米(高电压模式);
10*10微米(低电压模式)
高电压模式分辨率:闭环:2nm,开环:0.2nm
闭环线性度:0.1%
Z扫描范围:10微米(高电压模式);
1微米(低电压模式);
分辨率:0.16纳米(高电压模式),
0.02纳米(低电压模式)。
AFM Head 适用于接触模式,非接触模式,半接触模式和横向力模式
AFM Head 具有工业级的悬臂支架保持器,该保持器可以移动(很容易在悬臂上安装和拆卸),也很容易固定在悬臂上。头部还具有装备了激光和光电二极管传感器的前置放大器。
SPMCU2-PI
SPM 控制单元
SPM控制单元和计算机(配别有多输入输出主板)驱动扫描器,数据采集和采样运动
采样距离的末端由超低噪声的模拟反馈控制,该模拟反馈由计算机数字化驱动。
该系统的硬件时钟是高速的和高精度的
HVA3-PI Unit
高电压放大器
HAV是一种高电压放大器模块可以驱动A-100 SGS 扫描镜台
计算机和数据采集板
WindowsXP、Vista 操作系统;奔腾处理器或酷睿2,1G/2GDDR2 SDRAM内存,160G硬盘,DVD光驱,键盘和鼠标,19寸液晶显示器,采集板和接口。
采集软件
软件运行是基于窗口的,为了仪器控制和数据采集,还支持多窗口操作。软件具有简易的滤波器可以实时分析并获取图像。软件控制了仪器的所有参数。
APE研究的仪器装备了图像测量数据分析软件的基本模块,另外14项可选的功能也可以独立的获得。
选配件:
光刻工具
隧道扫描显微镜工具
MFM(磁力显微镜)工具
EFM(电场力显微镜)工具
CAFM(导电原子力显微镜)工具
液体池
隔音箱
桌台
其他可用的模块
最多添加5台