等离子体表面处理仪

产品详细描述：
小型等离子体材料表面改性处理设备——HD-1A/B系列为垂直式的等离子体处理仪，它是利用放电技术使气体电离产生等离子体，等离子体中含有大量的电子、离子、激发态原子和分子以及自由基等活性粒子，这些活性粒子在材料（金属、半导体、高分子材料）表面引起刻蚀、氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理、化学反应,从而在不损伤基体的前提下，对材料表面进行改性，赋予材料表面新的性能：如吸水性（或疏水性）、可染性、粘接性、耐磨性、抗静电性及生物相容性等等。这种技术尤其适用于对天然高分子材料（棉、毛、丝、麻）和合成高分子材料（化纤、塑料、合成橡胶等）的表面改性处理，使其表面性能获得优化，因而在材料、化工、电子、印刷、纺织、制造、医疗、生物技术等领域有广泛的应用。
HD-1A/B型等离子体改性处理仪的主要配置为:
1. 真空反应室 2. 真空测量系统
3. 充气系统及气体流量测量设备
4. 放电系统 5. 电路控制系统
仪器规格及技术参数
体　　积: HD-1A:L560mm×W460mm×H780mm（反应室）
HD-1B:L530mm×W560mm×H1600mm(电源柜)
反 应 室: 耐高温硬质玻璃圆筒
HD-1A: D230mm, H250mm
HD-1B:D300mm, H300mm
真空系统: HD-1A:2X－4型直联旋片真空泵二台
HD-1B:2X－8型直联旋片真空泵二台
真空测量: 热偶真空计(ZDO－2型)
气体入口: HD-1A:双通道转子流量计两个，量程分别为:
0.3－3 ML/min 和 0.6－6 ML/min
HD-1B:双通道转子流量计两个，量程分别为:
30—300ML/min和40—400ML/min
计 时: 数字计时器
RF射频电源: SY型, 13.56MHz, 0－300W
本底真空度：≤5Pa 工作真空度：15-80Pa