产地类别： 进口
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1.采用UV 激光光源，最高分辨率可达120纳米
2.聚焦最小步进/最大行程：10纳米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米
3.无须复杂的制样过程，样品无须镀膜导电处理，观察时无须真空，可放置重样品（10KG）
4.激光安全等级：CLASS 2
5.图像感应装置：光电倍增管
1.二维形态图像获取（2-D Morphologic）
2.三维形态图像获取（3-D Morphologic）
3.三维轮廓与地形图像（3-D Profile,3-D Topography）
4.可进行亚微米级线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚测量
5.非破坏性，非接触，无须制样，无须真空，快速直观
