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德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡仪器(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，是一家专业设计和制造高精度激光光刻系统、无掩膜直写和纳米制造工具的世界领导者，拥有40年的经验和1400多台全球 安装的系统。
核心技术：包括无掩膜激光直寫光刻、双光子聚合技术3D微光刻和热探针扫描技术，可满足各种微纳米制造的需求。
应用范围包括：微光学和微系统技术、光子学、电子学、半导体/先进封装、量子计算、MEMS/NEMS、微机械、生物医学工程。
产品系列涵盖从桌上型到专业型的多种光刻解决方案，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的最佳伙伴。
[来源：德国海德堡]
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