【高校设备更新实施方案】来了!焕新国产—扫描电镜助力科研
电子显微镜是利用聚焦的电子束与样品中的原子相互作用,从而产生超高放大倍率的图像,可以突破光学显微镜的分辨率极限,实现纳米级别的观察。可广泛应用于半导体制造、新能源、材料科学、生命科学、地球科学等应用领域中。
聚焦离子束镓离子束扫描电镜DB500产品优势:
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品
“承影”离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作精准到位
自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,极致的售后服务,提供免费的三年质保无忧服务
场发射扫描电镜5000X产品优势:
超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求
钨灯丝扫描电镜SEM3200产品优势:
丰富的扩展性---SE\BSE\EDS\EBSD等
光学导航---可快速定位目标样品和感兴趣区域
*大图拼接---可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面
图像混合成像(SE+BSE)---在一个图像中观察到样品的成分和表面信息
双阳极结构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量
*低真空模式---在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态
已合作客户
[来源:国仪量子技术(合肥)股份有限公司]
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