一、概述
SR-M 针对特定微小区域,可提供微米级的聚焦光斑,同时利用显微物镜定位测量点,从而获取精准位置的厚度表征结果。
■ 光斑大小可进行定制,最小可达到10um;
■ 非接触、非破坏测量;
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析;
■ 配置灵活、支持定制化
二、产品特点
■ 采用高强度卤素光源,光源稳定性好;
■ 采用光机电高度整合一体化设计,体积小,操作简便;
■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理,轻松解析单层薄膜到多层;
三、产品应用
显微膜厚仪广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。
技术参数
创新点:
SR-M 针对特定微小区域,可提供微米级的聚焦光斑,同时利用显微物镜定位测量点,从而获取精准位置的厚度表征结果。
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