一、概述
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理进行无损测量,通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱,同时搭配R-Theta位移台,兼容6到12寸样品,可以对整个样品进行快速扫描,快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息,并对于膜厚均匀性做出评价。
■ 光学薄膜测量解决方案;
■ 非接触、非破坏测量;
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析;
■ 膜厚重复性测量精度:0.02nm
■ 全自动测量,测量点数跟位置在Recipe中可根据需要编辑
■ 采用高强度卤素灯光源,光谱覆盖紫外可见光到近红外范围;
■ 采用光机电高度整合一体化设计,体积小,操作简便;
■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理,轻松解析单层薄膜到多层;
■ 配置强大核心分析算法:FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息;
三、产品应用
广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。
技术参数
创新点:
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理进行无损测量,通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱,同时搭配R-Theta位移台,兼容6到12寸样品,可以对整个样品进行快速扫描,快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息,并对于膜厚均匀性做出评价。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~