气相色谱仪
由华爱色谱参与修制定的5项电子气国家标准正式颁布:GB/T 43771-2024《电子气体 一氧化碳》,GB/T 43772-2024《电子气体 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《电子气体 羰基硫》于2024年3月15日颁布,2024年10月1日 起正式实施。GB/T 43976-2024《电子气体 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《电子气体 八氟环丁烷》于2024年4月25日颁布,2024年11月1日 起正式实施。
电子气作为核心工艺材料,其质量和纯度直接影响芯片制造的效率和成品率。电子气在蚀刻、沉积、清洗等半导体制造工艺中起着至关重要的作用。电子气不仅是半导体制造的基础保障,更是推动科技进步和行业发展的关键力量。其应用范围广泛,包括晶圆制造、显示器生产和太阳能电池等领域,支撑着众多高科技产业的发展。
华爱色谱作为全国气体标准验证平台,承担了色谱分析方法的制定。
[来源:上海华爱色谱分析技术有限公司]
2024.06.03
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