气相色谱仪
今年是雪迪龙全资子公司比利时傲领公司(Orthodyne S.A.)成立100周年之际,历经百年风雨,注定成就非凡。
发展历程
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Orthodyne公司坐落于比利时阿勒尔市,主要生产经营工业和实验室色谱分析系统、连续分析仪及各类工业气体检测器等,并向客户提供全套过程分析解决方案及售后服务。其产品可广泛应用于半导体工业、气体分离、食品饮料、医学及制药、航天、电子及冶金等应用领域。Orthodyne公司的客户主要是工业气体生产商和分销商,如跨国公司Linde、Air Liquide、Air Products等,并有少部分客户来自冶金、航天、电子等领域以及科研实验室。这些客户主要分布在欧洲及亚洲,少量在非洲,近年来在美国的业务也得到了发展。Orthodyne公司拥有由分布在全球的数十家分销商组成的销售网络。Orthodyne公司在中国上海(2008年)、美国德州(2021年)分别设有全资子公司。
在半导体电子气体领域,Orthodyne公司的在线色谱仪系列产品可应用于监测氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、氦气(He)、氢气(H2)等电子级气体中 ppb 级杂质气体,并具备完整的半导体行业过程分析解决方案能力,已积累了丰富的项目经验,其最终用户包括台积电、三星、英特尔、英飞凌等国际知名半导体厂商,也包括中芯国际、长江存储、合肥长鑫等国内头部半导体厂商。
电子气体
电子气体被称为电子工业的“血液”,是超大规模集成电路、平板显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料,用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等,电子气体的纯度对芯片质量有重大影响。
近日,雪迪龙牵头参与科技部等部委的相关研发专项,涉及半导体领域在线分析仪及其核心部件,致力于提升半导体领域过程分析仪器的国产化水平。未来,雪迪龙将继续投入,持续完善半导体行业过程气体分析解决方案,提高半导体设备产业链自主可控能力。
傲领产品介绍
ORTHOPure HDID-ppt-ppb-ppm
1
HDID/HE系列利用氦离子化检测器测量氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)、氪气(Kr)或氙气(Xe)中的痕量杂质气体,包括氖气(Ne)、氢气(H2)、氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2)、氪气(Kr)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、氙气(Xe)等。
DID/Ar-ppb-ppm
2
DID/AR系列利用氩离子化检测器测量氩气(Ar)中微量杂质气体,包括氢(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)等。
ORTHOPure FID-ppt-ppb-ppm
3
FID系列利用火焰离子检测器测量氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)或空气中杂质气体,包括甲烷(CH4)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、非甲烷碳氢化合物(NMHC)等。
[来源:北京雪迪龙科技股份有限公司]
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