2024 SEMICON CHINA | AI技术助力半导体行业，如虎添翼检测效率再升级

熬过疫情，走过2023，中国半导体产业已经进入了复苏的节奏之中，无论是科技行业的产业终端还是半导体行业整体，需求规模都呈现出了上升向好的趋势。伴随着需求的上升，高质量的芯片的需求也成为了刚需，更为精细高效的检测设备及检测方案已经成为了明确的诉求。

Evident作为专业的光学仪器、检测设备及解决方案提供商，针对半导体行业所产生的新需求不断进行探索，为半导体行业输出了不少高效的定制化解决方案，为行业发展添砖加瓦。

2024年SEMICON CHINA，我们一起来看看Evident又带来了什么惊喜给大家！

本次SEMICON，Evident再度携旗下诸多旗舰产品，为半导体行业的客户解决在各使用场景的不同检测需求。

DSX1000数码显微镜

AI助力如虎添翼

一直以来，显微镜都是晶圆检测的重要工具，也是检测流程中可以提升效率的一个切入点。而在晶圆检测的流程中，需要多次更换镜头进行检测，无疑成为了影响效率的一大痛点。

(DSX1000应用现场分享)

DSX1000数码显微镜中的多款物镜都支持多种观察方式，可方便用户快速确认及选择各类观察图像。配合多功能控制台，可同时查看六种观察方式下的样品，极大程度上提升了观察效率。搭配远心光学系统，使检测结果的准确性有了保证。

本届SEMICON中，Evident还创新展示了《显微镜最新AI解决方案》，并在DSX1000上展示AI阈值的一些应用案例（金刚线、不良品检测），并且将AI 阈值与传统阈值的结果同时显示在显示屏上，会给观众更加直观的感受。

OLS5100 3D测量激光显微镜

智能高效二者兼得

芯片制造工艺在近年飞速提升，这也对检测的精度及效率提出了更高效率的要求。OLS5100 3D测量激光显微镜能够兼顾智能检测的同时，还保证了检测的精度。

OLS5100 3D测量显微镜具备了亚微米3D观察和表面粗糙度测量高水平的准确性和精度，可以为用户稳定输出可靠的数据。配套的智能实验管理助手能够自动执行需要耗费大量时间的任务，让分析工作流程更加简单。操作员只需将样品放在载物台上，按下开始键即可针对待测样品进行精细的形貌测量。

MX63L显微镜+AL120晶圆搬送机

大尺寸样品检测无忧

在半导体生产过程中，对检测准确度的高要求毫无疑问非常关键。然而，对于检测工作的灵活性需求也正变得日益重要。在这一背景下，MX63L显微镜与AL120晶圆搬送机的结合，于众多尖端产品中脱颖而出，特别适用于大尺寸样本的检测。这一组合可在高质量检测领域显示出其优势，提供了灵活、便捷、高效的检测解决方案。

MX63L显微镜借助其高级照明功能，能够同时展示晶圆的电路图样和颜色信息，提高了图像的锐度和清晰度，从而提升了工作效率和报告生成的质量。结合AL120晶圆搬送机，可以快速且安全地将半导体晶圆从存储盒中转移到显微镜的载物台上。得益于360度自动旋转功能，检测人员可以轻松地对晶圆的正反两面进行全面检测，便于识别任何缺陷或尘埃。

全自动显微镜BXC系列组件

模块化助力效率升级

这一系列专注于提供高品质的全电动显微镜组件，其紧凑的结构和自动聚焦模块，专为OEM集成和开发设计。其多功能性和模块化设计使其成为检查和成像应用的理想选择，包括晶圆对准、缺陷检测和图像拼接等多种工作流程。

多功能定向暗场功能，通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术，可以与明场、简单偏光或荧光观测相结合。此外，自动对焦装置、各类物镜转盘等组件，可根据实际检测需求进行调整，让定制化检测需求成为可能。

大屏互动

引爆现场

本次SEMICON现场，我们采用了大屏幕抽奖的方式，吸引了诸多现场参展观众驻足，各类精彩定制好礼，为展会增添了别样的趣味。

Evident相信，伴随着半导体行业蒸蒸日上的、更有技术的突破以及检测方式的创新，在中国半导体行业成长路上，Evident会继续坚定的提供优质的产品及完善的解决方案。