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日前，国家自然科学基金委工程与材料科学部组织专家，对武汉大学教授刘胜主持的国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）“薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置”进行了结题验收。
项目负责人、刚刚增选的中国科学院院士刘胜从立项背景、设备研制进展情况、关键模块研究进展等方面汇报了项目总体研究成果。项目验收专家组认真审阅了结题验收材料，听取了项目组关于仪器研制的进展和成果总结、项目监理组的监理情况汇报以及现场技术测试、财务验收和档案审核情况汇报，并对仪器设备进行了现场考察。
经充分讨论和质询，专家组认为，项目组按照项目任务书完成了相关研究工作，项目任务书所列的仪器各项技术指标均已实现，其中部分关键技术指标优于预期目标，项目经费支出标准合规，组织管理规范，一致同意项目通过结题验收，结果评价为A。
国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）“薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置”2017年获批立项，历时5年多协同开展关键技术攻关。该装置的成功研制，将推动我国宽禁带半导体材料异质异构集成等领域核心技术的发展，为实现高端半导体装备与材料自主化制造奠定基础。
[来源：新华网]
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