走进日本电镜核心部件企业：专注电子源技术55年——访大和电子销售部部长神尾太一

20世纪30年代，德国物理学家E.Ruska率先发明第一台电镜后不久，日本许多技术人员和学者也开始研究电镜，并将之作为一个产业布局发展。直到当前，捷克、荷兰、日本三个国家在全球电镜出口份额中占比超过七成。日本电镜产业的发展无疑是成功的，成功的背后，除了日本电子、日立等知名电镜品牌的贡献，也离不开电镜产业中核心部件企业的助力。

大和电子是一家具有55年发展历史、专注电镜电子源、光阑等核心部件的企业，在日本电镜市场具有较高的知名度。近来，笔者视频连线了大和电子销售部部长神尾太一，神尾太一加入大和电子近20年，先后承担了微细制造技术、海内外销售等工作，以下文字主要结合视频采访内容整理，希望大家对大和电子有进一步的认识，对正在迅速复苏的中国电镜产业发展有一些启发。

55年专注电镜核心部件与微细加工技术

日本战后20多年里，日本的电子显微镜产业缓慢向前发展，与此同时，全球范围内，电子显微镜技术尚有诸多未知领域待科学家们去征服。

20世纪60年代，公司第一任社长佐藤幸男就职于一家钨丝制品的生产厂家，并担任技术要职。此时，知名电镜生产制造商日本电子株式会社(JEOL Ltd., )正在寻求技术合作，于是找到第一任社长，提出电镜用灯丝的需求。随后，第一任社长就从原来的厂家独立出来，在1967年创立大和电子工业株式会社町田研究所，以专注生产制造电镜用灯丝。

大和电子第一任社长 佐藤幸男

大和电子第二任社长 佐藤洋

大和电子现任第三任社长 渡邊正範

大和电子成立时的公司招牌

（创立时公司名为大和电子工业株式会社，后改名为大和电子科技株式会社）

成立初始，公司只有几平米的一个房间，依靠几个人开始开展研发，克服重重困难，从最初以电镜灯丝生产起家，灯丝产品在当时广受好评，到制作灯丝相关制具、灯丝周边配件和零件，再到在灯丝基础上研发的光阑、闪烁体等，不断扩大公司产品范围，直到现在。

大和电子总部一角

1994年，公司更名为大和技术系统株式会社（Daiwa Techno Systems Co., Ltd.）。如今，除灯丝加工技术外，分析设备零部件、半导体零部件、真空成膜等技术涵盖了电子显微镜零部件整个行业。同时，也逐步开始涉猎海外市场。

公司成立50多年来一直全力致力于电子显微镜零部件的制造研发。夜以继日，反复钻研，以独有的技术诀窍，磨砺加工技术，跻身专业行列。半个多世纪以来，先进的技术为电子显微镜行业的发展提供了有力支撑。

目前，大和电子主要经营多种搭载于电子显微镜及半导体检测设备等真空相关装置上的零部件，擅长钼（Mo）、钽（Ta）、钨（W）等特殊金属的加工以及微细加工。主要产品包括灯丝/发射极、光阑/小孔、精密加工零部件/陶瓷产品、电子显微镜样品台、电子显微镜特殊零部件等。

大和电子主要产品示例

作为小众核心零部件生产企业，长年积累的技术工艺已成为大和电子的核心竞争力。基于钼、钽、钨等特殊金属的加工以及微细加工的长期经验与众多成果，大和电子除了经营的五大类零部件产品，也积累了丰富的核心技术工艺。在微细加工零部件生产领域积累的主要技术工艺成果包括灯丝制作技术、微细放电加工与去毛刺技术、清洗处理技术、镀锇技术、精密清洗技术真空热处理、陶瓷加工与耐真空焊接、光蚀刻加工等。可加工材质广泛包括：钼、钽、钨、铼、钛、不锈钢类、铜、铜合金、铝类、金、铂、陶瓷类等。

大和电子主要技术工艺

从服务电镜整机企业出发，走向终端用户，挑战“按需生产”

大和电子的电镜灯丝等产品即是电镜零部件，也是电镜消耗品，这样的产品属性，让大和电子的业务与电镜整机市场有着很强的关联性。一般而言，电镜市场需求越大，则后期随之对电镜零部件或消耗品的需求也会越大。

一般情况下，对于标准化的电镜零部件或消耗品，大和电子主要与电镜生产企业合作，而不是直接出售给终端电镜用户，电镜用户如果有电镜零部件或消耗品的需求，便会找到电镜生产企业进行采购。神尾太一表示，这也许是日本比较独特的商业习惯，在日本，电镜用户一般不会直接去零部件生产企业购买产品。而在欧洲或美国，电镜用户直接与零部件生产商进行沟通并采购的现象却是比较普遍的。

这也许保持了电镜产业链的一个生态平衡，另外就是对所生产的产品的品质的一个保障，日本非常看重这一点。比如，电镜用户从电镜生产商去购买零部件或耗材，电镜生产商往往可以给零部件提供更全面的品质保证。因为零件是特殊产品，电镜用户直接从零件生产企业采购，不一定能满足其电镜的需求，使之正常运转或发挥其性能。另外，从正规渠道采购有品质保障的零部件，也是产业链中友商之间合作的一个重要因素。

不过，这种模式也有一定弊端。大和电子与欧洲、美国等公司也有一定合作，相互对比之后，神尾太一也认为，日本的商业模式确实也相对偏谨慎。一方面，虽然零部件等产品销售给电镜厂商，但实际使用的是终端电镜用户。“用户的使用效果怎样？有没有在使用过程中出现问题？能不能满足需求？”等问题都需要走进用户去了解，大和电子在这方面也越来越重视。另一方面，主要销售给电镜厂商，也不利于对核心部件企业品牌的宣传推广。

据介绍，电镜生产品牌一般会直接从大和电子这样的企业采购相关零部件，自主生产的较少。当前，在日本市场，大和电子几乎与所有电镜厂家都有密切合作，且在日本国内电镜零部件领域具有较高的知名度。关于全球市场，大和电子也在逐渐与欧美一些电镜品牌开展合作，包括对中国市场的积极关注等，开始不断拓展海外市场。

神尾太一表示，由于零部件产品的特殊性，为满足与电镜整机产品更好的契合，在这些标准的零部件产品上市背后，大和电子与各个电镜品牌商之间的沟通交流是很频繁的。除了与直接购买的电镜厂商的销售部门沟通，更多情况下，双方频繁的沟通从产品提交需求阶段就开始了。从需求对接过程中双方技术人员、工程师的沟通，到研发阶段样品的制造，再到产品产品图纸的定量、产品的加工等，双方的沟通探讨贯穿于产品制造的每个环节，双方共同面对技术挑战，共同开发创新，一致的目标便是让零部件与电镜更好的满足用户的需求。

随着科技工作者科研工作的不断发展与深入，当标准化产品不能满足科研需求时，定制化、非标科学仪器与零部件成为市场的另一股需求。在日本市场，除了与电镜生产企业的合作，大和电子与高校院所等研究机构也有着广泛的合作，大和电子也非常重视。

非标产品/非标合作案例：材质 Ta，外形φ1.6mm、内径φ0.8mm、间隔W=0.1mm、板厚ｔ=0.3mm， SEM照片

非标产品/非标合作案例：材质 Mo，孔径φ0.010mm，小孔正面和小孔内壁SEM照片

与这些研究机构的合作涉及的主要是一些非标零部件产品，不像可以从电镜生产商可以直接购买的规格产品，非标零部件往往需要按照客户图纸来设计，或按客户的特殊要求来定做。神尾太一表示，虽然这些客户提出的订单或咨询都是一些比较难加工的零件，从零件材质到尺寸等，要面临许多困难。但大和电子十分重视，通过不断解决难题、挑战，除了帮助客户解决难题、取得一定研究成果、或助力其商业化的成功，另一方面，大和电子在加工技术方面也得到不断提高。而且，从长远来看，这对产业技术的发展也会起到积极助推作用，大和电子也会始终将非标零部件产品的合作看做非常有价值和意义的业务。

“持续精进”的微细/特殊材料/真空环境加工技术

关于电镜产业的发展，神尾太一认为，电镜产业与半导体工业发展息息相关，大约50多年前，半导体刚开始处于成长道路上时，电镜当时也是刚刚起步，许多技术或对产品的要求还很少。如今随着半导体工业的发展，电镜整体的性能以及电镜零部件的性能都有了很大提升，对应对电镜本身各种零件的要求及加工技术也随之提高。当前，大和电子收到越来越多更高要求产品需求或咨询就是很好的应证。

在日本市场，从事零部件加工的企业不在少数，但专注于电镜零部件的企业并不多，聚焦电镜零部件便成为大和电子的强项。与传统零部件不同的是，电镜零部件的加工制造，除了要求精湛的精密加工技术，还需要在真空环境加工工艺方面有长年的经验积累。因为这两方面的技术对于电镜零部件各方面性能、使用寿命等息息相关。

电镜作为一类很复杂的精密仪器，其核心部件常被大家津津乐道。神尾太一谈到，在电镜中，电子枪发射电子束、电子束穿过之处无疑是电镜的心脏部位，然后光阑将电子束聚焦，最后投射到闪烁体上，此三个部件都是非常重要的，而大和电子的主要生产销售产品就涵盖了这三类。

产品定位决定了大和电子的核心技术所在，归纳起来主要包括三个方面。首先是微细加工技术，微观表征的电镜决定了其零部件的微小尺寸，在此方面，大和电子积累了丰富的微米级微细加工技术能力。

点焊技术，可实现从线径φ0.05的极细丝到线径φ0.5左右的极粗丝的精密焊接，右图为点状式灯丝

微细放电加工与去毛刺技术：最小可加工φ0.002mm的极小孔

其次是特殊金属等材料的加工能力，由于电镜内磁透镜磁性工作环境要求使用钽、钼、钨等非磁性金属零部件，大和电子多年来积累了丰富的高精度加工技术与经验。并可根据顾客提出的性能要求，对不锈钢、铝合金、铜合金以及其他特种金属进行切割、放电加工，研磨加工等全套对应，也可供应陶瓷产品及陶瓷金属焊接产品。

特殊材料精细加工示例（下图：钼（Mo）材质，特殊载网案例）

再次是真空环境零件加工技术。由于这些部件就是在真空环境中工作，属于真空零件，所以除了生产出来，对其清洁度也有更高的要求。大和电子采取对应技术包括超声波清洗、烘烤除气、泄漏检测、真空包装等。

光阑清洗技术示例

企业文化：利于“挑战”、“创意”上下功夫

有利于挑战的企业氛围

神尾太一加入大和电子已经20多年，包括近10年技术工作与近10年销售工作背景。当问及对公司哪些企业文化比较欣赏或印象深刻，神尾太一思索片刻道：比较有利于挑战的工作氛围。

多年来，许多客户提出关于特殊零件的加工或定制，一般都非常有难度。很多情况是其他厂家无法加工完成，然后希望大和电子能够提供帮助。许多需求从提出那一刻便知道难度很大，或即便做起来也不一定能做到。大和电子一般不会很快去答复客户，或直接便放弃，二是会优先考虑怎样能够做出来、怎样能满足或提高客户需要的性能。如此一个迎接挑战的精神，是大和电子一个传统的企业文化。

神尾太一接着分享了一个经历。曾经，有一个电镜厂商向大和电子提出一个定制样品，该产品也是首次尝试，结果做的很不成功。但电镜厂商已经与客户形成订单，交货期迫在眉睫，大家一时没了退路。另外，该零件的前期粗加工是大和电子另一个合作伙伴来做的。此情况下，大和电子无奈下与此合作伙伴沟通了当时情况的严重性，对方也是非常理解。于是大家先把利益放在一边，共同合作努力把产品做出来。通过举行三方会议讨论，电镜商将零件周边的零件规格样式进行了微调改动以保证周边配套性能的保证、粗加工合作伙伴及大和电子全力配合重新做样品，最终在三家联合攻坚下共同做出了产品。当初来看，那次合作从经济效益来讲并不划算，但产品最终验证是成功的，而且这款产品也延续了三方稳定的合作，大家也实现了最终的共赢。

在“创意”方面下功夫

谈到电镜零部件相对微观精密加工与常规宏观精密加工技术相比的不同之处，神尾太一认为，“电镜零部件的加工技术并没有非常特别之处，也并不是说使用到什么特殊的设备，或听所未闻的工艺技术。主要还是在加工的制具、工具、道具、模具等的创意上下功夫。比方说一些加工的具体环节，我们可能会先做一个制具，然后再加工时，比如研磨时，有可能用制具去夹着需要加工的零件，结果最后加工研磨时就把制具一起也研磨出来了。或者比方说很小的零件，连夹都夹不住的这种零件，我们可能就会想办法做一种制具，让他能够夹住零件。”

后记：

访谈过程中，有句话让笔者印象深刻， “电子显微学向更加微观的方向发展的趋势下，我们作为一个电镜核心部件加工厂家，如果因为做不出来就不做了，那我们的技术就可能到此为止了”。55年来，“挑战”、“创意”的传承，帮助大和电子见证并参与了电子显微学技术的快速发展。

同时，神尾太一对中国市场也流露出浓厚的兴趣，对于中国电镜产业当前的快速发展，表示中国市场是一个有魅力的市场，大和电子希望在中国市场有更多的合作，希望为中国电镜产业的发展做一些贡献。

受访人简介：

日本大和电子科技株式会社 销售部部长 神尾太一

神尾太一，2004 年大学毕业后就职于日本大和电子科技株式会社。在制造技术部从事微孔加工工作。

为海内外客户试做和定做电子显微镜光阑。在此过程中，专研掌握了有关微细加工技术，真空和电子束的专业知识。

2012 年调任到销售部门，负责对海内外客户进行电镜零部件等真空方面的技术销售，主要客户为电子显微镜制造商和半导体制造设备的制造商，大学和研究机构。积累了工作业绩。

现在，作为销售部门的负责人，努力与所有客户建立信任关系。