视频号
抖音号
哔哩哔哩号
前沿资讯手机看
分享到微信朋友圈
打开微信，点击底部的“发现”，
使用“扫一扫”即可将网页分享到朋友圈。
我们有幸在此宣布，经过双方密切的交流与探讨，众星已与荷兰 ISTEQ 落实并达成了合作协议。
众星联恒将作为中国地区的独家代理，全面负责激光驱动高亮EUV光源 TEUS 系列产品在中国市场的产品售前咨询，销售以及售后业务。
ISTEQ 将对众星联恒提供全面、深度的技术培训和支持，以便更好地服务于中国客户。我们将继续为中国广大科研用户及工业用户带来更多创新技术及前沿资讯！
ISTEQ
荷兰 ISTEQ 坐落于埃因霍温的高科技园区，在开发和制造各种类型的尖端产品方面拥有广泛的专业技术与丰富的经验。
ISTEQ 致力于为各种工业应用尤其是半导体、材料分析和光谱学应用开发广泛的现成解决方案，公司产品包括：激光驱动高亮EUV光源 TEUS、激光等离子体白光光源、用于 X-Ray/EUV/VUV 波段的定制化光谱仪及等离子体诊断设备等。
1
激光驱动高亮 EUV 光源 TEUS 系列
来自荷兰 ISTEQ 的 TEUS，LPP EUV 光源基于快速旋转液态金属靶，这种新型 LPP 光源结合了传统的碎片抑制技术，是清洁极紫外光源的绝佳解决方案。
型号 | EUV收集角（sr） | 激光平均功率（W） | 脉宽（ns） | 重频（kHz） | 等离子体尺寸（μm） | 亮度（W/mm2sr） | EUV功率（mW） |
TEUS-S100 | 0.05 | 100 | 1.5 | 25 | 60 | 110 | 5 |
TEUS-S200 | 200 | 50 | 220 | 10 | |||
TEUS-S400 | 400 | 100 | 450 | 20 |
特征优势
高速旋转液态靶，提供了：
多种碎屑抑制技术共同作用，提高收集器镜片预期寿命
连续工作时间长，维护间隔长耗时短，自动化程度高的交钥匙工程
典型应用
掩膜及表面检测
图形化掩膜检测
掩膜空间像检测
材料科学
晶圆检测
极紫外扫描光刻工艺链中的极紫外光学器件检测
2
激光等离子体白光光源 XWS 系列
ISTEQ 的等离子体白光光源产品可应用于各种应用，包括光谱学，高分辨率显微镜，薄膜测量，表面测量等。
多种类型可选
基础款
XWS-65
高亮款
XWS-X
可调谐
Hyperchromator
高功率
XWS-R
紧凑型
XWS-30
双光束
XWS-Dual port
主要优点
连续激光脉冲放电
宽光谱范围: 190 – 2500 nm
高光谱亮度: up to 50 mW/(mm2·sr·nm)
高时空稳定性: STD<0.15%
高使用寿命 :10000 小时
结构紧凑，设计简洁
通过软件扩展控制和监控参数，Windows界面
应用领域
吸收和荧光光谱学
微电子学中的诊断系统-污染和缺陷控制
表面测量，椭偏测量和散射测量
显微镜，包括共聚焦和荧光
光学组件检测
色谱检测器，微流体，晶圆实验室，液滴光谱仪，细胞荧光计等
3
X-Ray/EUV/VUV光谱仪
LSP-X 射线校准光谱仪
▪ 射谱范围：0.3-1.6nm
▪ 光谱分辨率（λ/δλ）：100-400
▪ 探测器：多种 CCD 可选
XUV- VUV光谱仪AGS
▪ 可单次测量极宽的光谱范围
▪ 掠入射振幅光栅提供高的灵敏度
▪ 光谱分辨率（λ/δλ）：50
▪ 探测器：高量子效率 CCD
HD-1射线光谱仪
▪ 射谱范围：0.04-1.6nm
▪ 光谱分辨率（λ/δλ）：100
▪ 探测器：多种 CCD 可选
VUV-QFF 光谱仪
▪ 射谱范围：5-150nm
▪ 光谱分辨率（λ/δλ）：三光栅配置，分辨率高达500
▪ 探测器：CCD/MCP
[来源：北京众星联恒科技有限公司]
2023.09.11
2023.08.17
2023.07.26
2023.06.19
2023.05.31
2023.04.27
品牌合作伙伴
版权与免责声明：
① 凡本网注明"来源：仪器信息网"的所有作品，版权均属于仪器信息网，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品，应在授权范围内使用，并注明"来源：仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源：xxx（非本网）"的作品，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用，必须保留本网注明的"稿件来源"，并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起两周内与本网联系，否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏，您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功，积分获取达到限制
收藏成功
取消收藏成功
点赞成功
取消点赞成功
投票成功~
投票失败了~
