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项目编号：清设招第2022239号
项目名称：清华大学显微镜
预算金额：260.0000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
01 | 显微镜 | 5套 | 是 |
设备用途介绍 ：本次采购的显微镜将用于PECVD与PVD成膜质量、缺陷检测；刻蚀后微观结构检测（AEI检测）；光刻显影后图形检查与线条检测，去胶后残胶检测；芯片封装的不良状况无损分析失效分析；用于各工艺微观结构关键尺寸测量。
简要技术指标 ：
显微镜镜体：能完成8英寸晶圆及更小尺寸晶圆的外观检测任务；
具备8英寸载物台（holder），显微镜原厂手动载物台，手动载物台X行程≥205mm，Y行程≥205mm；
五个平场半复消色差干系物镜5x、10x、20x、50x、100x。
合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内
本项目( 不接受 )联合体投标。
[来源：中国政府采购网]
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