450万！清华大学扫描电子显微镜采购项目

项目编号：清设招第2022155号

项目名称：清华大学扫描电子显微镜

预算金额：450.0000000 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍：该仪器设备主要用于微观形貌表面分析及表层元素分析，主要涉及以下工艺研究：图形化工艺，关键线条观测，SOG陀螺、Si工艺深硅刻蚀结构剖面观测，SOG压力计硅杯结构观测，硅通孔TSV工艺, 深刻蚀硅通孔侧壁及绝缘层种子层厚度观测。

简要技术指标：

1）电子枪基本参数：二次电子分辨率≤1.0nm@30kV，≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV（分辨率测试条件：无样品台减速模式下多边统计法测试）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均不小于0.02-30kV，加速电压以10V为步进，连续可调；

2）放大倍率可调范围不小于10×- 2,000,000×，根据加速电压、工作距离变化放大倍数可自动校准；

3）电子束流可调范围不小于3pA～20nA；

4）电子束成像模式下，最大成像视野宽度≥55mm（最大工作距离条件下），并且可通过大视野成像图像进行大尺寸样品或多样品导航功能；

5）在电子束减速模式下可倾斜样品台观察不导电样品侧壁结构，实现不导电MEMS器件样品的侧壁形貌观察；

6）配置镜筒内高分辨二次电子探测器和样品室内二次电子探测器；配置样品室内背散射电子探测器，用于样品成分衬度和晶体取向衬度成像；配置样品电流探测器，电流检测范围不小于1pA~10A；配置用于实时观察样品室内情况的红外CCD相机探测器；

7）配备前级无油机械干泵、分子泵、离子泵，电子枪真空度≤5×10-7 Pa，样品室工作真空度≤3×10-4 Pa；

8）配置样品仓内安装的在线等离子清洗仪附件，可清洗样品仓内由光刻胶等样品引起的污染，也可以清洗样品指定位置的污染；

9）供应商需提供全新设备，不允许是翻新设备。

合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内

本项目( 不接受  )联合体投标。