项目编号:清设招第2022123号
项目名称:清华大学激光共聚焦显微镜
预算金额:160.0000000 万元(人民币)
采购需求:
包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
01 | 激光共聚焦显微镜 | 1套 | 是 |
设备用途介绍 :高精度表面分析,用于微观形貌、微观结构的表征;厚胶光刻显影工艺、刻蚀释放工艺、厚金属剥离工艺等3D形貌观测分析、断层扫描成像分析等,非接触式、无损、快速成像。
简要技术指标 :
1)具备8英寸及以下基片上3D形貌观测分析、断层扫描成像分析等,非接触式、无损、快速成像和测量功能;
2)3D观测方式:共焦光路系统,光源:反射激光和反射LED光源,激光共聚焦模式、彩色成像模式、彩色光学DIC成像,具备光学测量及成像模块,3D观测方式具有白光;明场、暗场及共聚焦;单色共聚焦或多色真彩共聚焦观察方式;
3)成像图像X/Y平面分辨率≤0.12µm、Z轴显示分辨率精度≤0.006μm;
4)5x,10x,20x,50x,100x均为激光专用复消色差物镜。
合同履行期限:交货时间:合同签订后180日内
本项目( 不接受 )联合体投标。
项目编号:清设招第2022125号
项目名称:清华大学超声扫描显微镜
预算金额:200.0000000 万元(人民币)
采购需求:
包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
01 | 超声扫描显微镜 | 1套 | 是 |
设备用途介绍 :利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点,实现对材料内部缺陷的定性分析,在半导体封装及材料等行业中具有广泛的应用。对器件内部的结构、夹杂物、裂纹、分层、空洞等进行检测,是提供高分辨率无损检测的重要手段。
简要技术指标 :
1)最大扫描速率≥610mm/s;
2)扫描精度:可设置最小扫描步进≤5μm,最大扫描步进≥500μm。
合同履行期限:交货时间:合同签订后180日内
本项目( 不接受 )联合体投标。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
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