半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
化学气相沉积技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。由于CVD技术具有成膜范围广、重现性好等优点,被广泛用于多种不同形态的成膜。CVD技术可广泛应用到集成电路、半导体、金属精制、光伏电池、高技术陶瓷等制造领域,其中,集成电路、半导体是其主要应用领域。
最近,中国海关公布了大陆6月份各类产品的进出口数据,仪器信息网近期特对2021年1-6月的化学气相沉积设备(海关HS编码:84862021、84863021)的海关数据进行分析,供广大仪器用户参考。
进口CVD设备金额逐月变化图
2021年1-6月,根据海关数据,各月进口CVD设备金额整体呈增长态势,特别是三月份增长明显。但二月和四月呈现下降,特别是二月进口数量降幅巨大。
2021年进口CVD设备金额和数量贸易伙伴分布情况
2021年1-6月CVD进口贸易伙伴分布
贸易伙伴名称 |
台数 |
人民币(万元) |
设备均价(万元/台) |
新加坡 |
183 |
479078 |
2618 |
韩国 |
194 |
403996 |
2082 |
中国台湾 |
64 |
391503 |
6117 |
美国 |
205 |
227114 |
1108 |
日本 |
251 |
194620 |
775 |
德国 |
161 |
128165 |
796 |
意大利 |
10 |
10363 |
1036 |
英国 |
19 |
10185 |
536 |
马来西亚 |
12 |
7820 |
652 |
芬兰 |
9 |
4810 |
534 |
中国 |
37 |
1055 |
29 |
法国 |
4 |
607 |
152 |
荷兰 |
1 |
446 |
446 |
总计 |
1150 |
1859760 |
海关数据显示,上半年我国进口日本的CVD设备数量最多,达251台,占比约22%,均价约775万元/台。
令人诧异的是,以进口金额计,我国进口CVD设备的最大贸易伙伴居然是新加坡,总额约48亿元,占比约26%,而且设备均价达2618万元/台。这表明新加坡出口到我国的CVD设备主要为高端设备。新加坡处在马六甲海峡,扼太平洋及印度洋之间的航运要道,是全球海运的几大必经路线之一,战略地位十分重要——早在新加坡建国之前,“新加坡港”已发展成为国际著名的转口港。
世界各国的将需要出口的货物运输到新加坡港,存放几天或几十天(其中20%的堆存时间仅为1天),然后再转运到进口国。由于新加坡的自由贸易港,通过新加坡的“转口贸易”可变成躲避贸易制裁的有效方式之一。
从新加坡进口高端CVD可能是为了规避以美国为首的西方集团对我国日益收紧的高端装备进口限制。对此,笔者查阅了2020年同期1-6月的CVD设备进口数据,发现我国从新加坡进口CVD设备数量和金额增长近一倍,设备均价变化不大。
2020年进口CVD设备金额和数量贸易伙伴分布情况
贸易伙伴名称 |
进口数量 |
人民币(万元) |
设备均价(万元/台) |
中国台湾 |
52 |
385344 |
7410 |
新加坡 |
100 |
257835 |
2578 |
韩国 |
118 |
228957 |
1940 |
美国 |
165 |
173186 |
1050 |
日本 |
156 |
114631 |
735 |
德国 |
44 |
65714 |
1494 |
英国 |
17 |
16022 |
942 |
马来西亚 |
9 |
6517 |
724 |
芬兰 |
12 |
5166 |
431 |
法国 |
5 |
2604 |
528 |
意大利 |
1 |
832 |
832 |
荷兰 |
3 |
29 |
10 |
中国* |
1 |
1 |
1 |
总计 |
683 |
1256838 |
(注:“*”代表产品数据存疑)
与2020年同期相比,CVD进口数量同比增长68%,进口金额同比增长48%,我国进口各贸易伙伴CVD设备数量和金额都呈现出明显增长态势,这可能是由于全球“芯片”荒引起的各大晶圆代工厂扩产所致。
值得注意的是,与2020年同期相比,2021年上半年CVD设备的再进口数量呈现明显增长的态势。国家发改委指出,由于出口退税、加工贸易、关税倒挂、鼓励出口等政策造成国货再进口大量增加,既虚增出口,也虚增了进口,造成物流等社会资源的浪费。从进口设备均价可以看出,再进口的CVD设备均价最低。虽然再进口CVD数量仍不占主流,但呈现明显的增长态势。
再进口贸易方式统计
贸易方式名称 |
第一数量(台) |
第二数量(千克) |
人民币(元) |
进料加工贸易 |
2 |
2650 |
1,133,634 |
海关特殊监管区域物流货物 |
34 |
1429 |
4,263,854 |
海关特殊监管区域进口设备 |
1 |
723 |
5,147,557 |
海关数据显示,再进口的主要贸易方式是海关特殊监管区域物流货物和海关特殊监管区域进口设备。
《国务院关于促进海关特殊监管区域科学发展的指导意见(国发〔2012〕58号)》显示,为适应我国不同时期对外开放和经济发展的需要,国务院先后批准设立了保税区、出口加工区、保税物流园区、跨境工业区、保税港区、综合保税区等6类海关特殊监管区域。
今年一月份,海关发布《截至2020年12月底全国海关特殊监管区域情况》显示,截至2020年12月底,全国31个省、市、自治区现有海关特殊监管区域160个。其中,保税港区2个,综合保税区147个,保税区9个,出口加工区1个,珠澳跨境工业区(珠海园区)1个。全国海关特殊监管区域总规划面积超445平方公里。
2021年1-6月CVD进口收货人注册地分布
陕西省和上海市CVD来源分布
那么这些进口设备最终流向了哪里呢?从收发货人注册地分布情况可以看出,这些设备主要流入了陕西省和上海市。而从进口设备来源来看,其呈现出不同的特点。根据海关数据,陕西省主要进口韩国和日本的CVD,德国设备占比极低;而上海主要进口日本和德国的CVD且韩国设备为零,这一区别可能和三星在西安的半导体厂的生产线有关。
不同种类CVD占比
海关进出口数据中,化学气相沉积设备分为制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置和制造平板显示器用的化学气相沉积设备(CVD)两类,其应用领域不同。从数据中可以看出,进口CVD设备,主要用于半导体器件和IC集成电路产业中。
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