从促进科技成果转化启程：首届中国电镜产业化发展论坛在无锡召开

中国电子显微镜学会，仪器信息网共同报道 为促进科技成果转化，搭建科学家与企业家沟通合作平台，2021年4月23日下午，第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）同期，由中国电子显微镜学会和仪器信息网共同发起并主办的“首届中国电镜产业化发展论坛”在无锡融创万达文华酒店会议中心召开。论坛邀请电镜技术专家、电镜及相关联技术企业家等百余位电镜产业化相关人士共聚一堂，就中国电镜技术产业化现状、未来发展与合作等展开讨论，共同为促进中国电镜产业化健康发展建言献策。

“首届中国电镜产业化发展论坛”现场

中国电子显微镜学会理事长韩晓东教授致辞

论坛致辞中，中国电子显微镜学会理事长韩晓东教授谈了三点感想。

首先，不同以往中国电子显微镜学会举办的以学术为主的会议、或仪器信息网举办的产业为主的会议，本次是第一次双方合作举办的以产学研用为主旨的论坛，并分别负责科学家和企业家们的召集。从这次论坛开始，我们要强化这样的理念：从学术的迫切需求来带动仪器产业化的升级，同时，也希望通过仪器产业化的进步来推动学术的发展。

其次，仪器产业化与学术发展之间并不是零和游戏，而是加和、乘和游戏，两者大幅度相互促进。诺奖的重要补充-科维理奖，2020年其纳米科学奖授予了对像差校正电镜技术的发展做出巨大贡献的四位欧洲科学家，其中Maximilian Haider和Ondrej L. Krivanek，既是科学家也是企业家，两位分别是世界知名球差校正技术企业德国CEOS GmbH公司和美国Nion公司的创始人之一。同时，另外两位Harald Rose、Knut Urban则是纯学术科学家，四位获奖者对球差校正先进技术的推动，则体现了一个科学家、企业家，以及学术与产业化的融合，是科学仪器发展推动科技进步的范例。

再次，国家“十四五”规划在多个层次都强调科技成果转化，我们电镜技术经过以往多年的积累，目前在座的许多企业家已经取得了很好的进展，在扫描电镜、很多附件乃至透射电镜等方面都有着手去做或取得很好的发展。希望通过这样的论坛，学术界与产业界相互促进的创新形式，能够对整个电镜领域有更高更强的推动作用，也希望在座的无论是学术专家还是企业家都能够有所收获。

开篇报告：中国电子显微镜产业发展现状及展望

报告人：中国科学院电工研究所 副所长 韩立研究员

韩立首先介绍了电镜技术及商业化产品约九十年的发展历程，接着介绍中国电镜发展史时表示，我国电镜产业化有过自己的辉煌，但在市场经济和国际竞争的冲击下，目前国产扫描电子显微镜仅占全部扫描电子显微镜的百分之一二，且销售额十分微薄，国产透射电子显微镜也已全军覆没。但随着国家科研技术的不断发展，产业需求增加，大致在2007年前后，国内对电镜的研制与生产逐渐重视，特别是产业的介入。如中科科仪在科技部重大专项支持下，于2018年完成场发射扫描电镜项目验收并实现千万级别产出；聚束科技高通量扫描电镜取得很好的市场效果；东方晶圆在承担电子束检测装备研发和产业化的科技部重大专项等取得了系列进展；上海精测全自动电子束晶圆缺陷复查设备（eView SEM）已经完成首台套客户交付；中科院物理所开展桌面型扫描电镜研制；广州纳境鼎新开展透射电镜研制；国仪量子开展扫描电镜研制等。同时，也有西安威思曼、广州纳境鼎新、大束科技等开展了电镜相关关键部件的研发生产。

总体而言，在国家支持下，国内电镜产业化热情很高，整体发展对产业的发展处于非常有力的局面。最后，结合国内电镜产业化发展现状，韩立对中国电镜的发展前景进行了分析，并提出加强相关基础学科建设、研制生产高附加值电镜附件、逐步建立自己的产业链等系列发展建议。

仪器信息网专家委员会电镜专业组成立、专家证书颁发合影（部分专家代表）

接下来，论坛从中国电镜产业化现状、电镜产业化经验分享、成果转化/合作机会三个议题出发，邀请6位企业代表和1位成果转化专家代表分别进行了议题发言。

企业家及专家代表议题发言（按发言顺序，部分发言摘要如下）

北京中科科仪股份有限公司电镜事业部总经理孟祥良介绍了中科科仪近50多年电镜研制历史，作为国内率先实现扫描电镜产业化的企业，50多年来产业化的十余款电镜型号包括1965年透射电镜DX-2，1975年国内第一台扫描电镜DX-3，2014年国内首台场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F，2019年首台国产低真空钨灯丝扫描电镜KYKY-EM6900LV等。接着介绍了中科科仪电镜系列扩展应用定制化技术方案，包括电子束曝光系统、高低温台、集成纳米操作机等。最后分享了其电镜产品在高校院所、电子材料、半导体、金属/非金属、新能源、生命科学等领域的应用情况。

百实创(北京)科技有限公司总经理李海鑫介绍了国家级高新技术企业“百实创科技”的最新透射电镜原位技术产业化进展。原子分辨高温力学原位研究方法是国际瓶颈技术，百实创成功转化高校科技成果 “原子分辨原位高温力学研究系统”， 将实验室原型科学仪器升级为国际领先和独有的原创科学仪器并产业化，发展了系列显微芯片技术，首次实现1150℃高温下材料变形机理的原位原子层次研究。通过产学研合作及科技成果转化，在中美日本专利布局，于2019年推出INSTEMS系列新品。百实创分享了该系列产品可实现1200℃高温应力耦合场下材料显微结构演化的原子层次原位研究、多场耦合下的原子尺度分辨、原子分辨下pm级位移控制等优势，以及在一维纳米材料、二维薄膜材料和三维块体纳米取样材料等领域的广泛应用。

作为进口品牌代表，TESCAN(中国)总经理冯骏介绍了TESCAN在捷克布尔诺数十年的电镜产业化历程，并分享了其中的优秀经验。TESCAN的前身为TESLA，TESLA于1951年生产了第一台商品化电镜 Tesla BS 241。1991年TESCAN成立，最初以提供现有显微镜的数字化升级服务赚取公司第一桶金，并在1997年推出TESCAN首台钨灯丝电镜VEGA。经验分享包括：人才培养方面，TESCAN和政府、高校与科研院所以及第三方仪器公司加强合作，共同促进电镜产业人才培养；完善供应链体系方面，TESCAN自有的现代化工厂和来自捷克布尔诺强大的电子、精密机械制造，软件技术等相关产业的支撑；资本方面，资本是电镜产业发展的充分条件，而不是必要条件；TESCAN在中国，核心价值观首要是成就客户等。

作为代理商代表，北京欧波同光学技术有限公司产品及业务拓展总监韩鹏分享了欧波同在构建全方位服务平台方面的多年成功经验。利用独特的商业模式，欧波同实现连续十年业绩两位数增长，年销售额超2亿美元。客户价值主张方面，欧波同主要帮助客户加速创新、有效提升实验室效率。为客户提供多维的服务包括：场地测试、实验室规划及设备调试安装、设备维修与维护等一站式技术服务；便捷的沟通；技术支持、Demo中心、售后服务等应用支持；线上公益讲座、线下客户培训会、技术服务万里行等客户增值服务等。社会责任方面则包括助学活动、共建实验室、设立奖学金、公益大赛等。

聚束科技(北京)有限公司总经理何伟首先以“莫听穿林打叶声，何妨吟啸且徐行”回顾了15年来，作为中国新一代电镜人的产业化历程。从2009年，团队的技术不先进、资本不受青睐、客户不认可、供应商不支持，经过六七年时间，不断磨练技术、筹措资金、分析市场、培养供应链，2015年聚束科技成立，拥有研发、制造、销售及维护工程师120余人，国内技术能力最强的一支技术团队。回首聚束科技的成功离不开尊重技术团队、重视知识产权、关爱客户等。2020年聚束科技获得新一轮的资金注入，并在新加坡开设海外第一家工厂，或是中国电镜公司走出去的第一步。

作为专家代表，中国科学院物理研究所研究员李建奇分享了时间分辨电子显微镜研发及成像技术发展情况。超快透射电镜，因能够在埃-亚皮秒的空间-时间尺度拍摄结构的动力学过程，为解决多个重大学术问题提供关键线索，而备受全球物理学、化学、材料学和生命科学等多个领域的关注。2012年，在中科院科研装备研制项目的支持下，李建奇团队率先在国内发展超快透射电子显微技术，先后攻破了光发射电子枪改造技术、样品室改造技术、激光-电镜联机技术、以及弱电子计量成像技术等技术壁垒，成功搭建了国内第一台超快透射电子显微镜。第二代超快透射电子显微镜主要基于场发射电子枪，其电子相干性明显优于热发射电子枪，且能够兼容球差矫正技术，该产品已在怀柔科学城开始培训。该成果也已通过和怀柔仪器公司合作推动北京怀柔科学城高端科学设备制造及产业化发展。

国仪量子（合肥）技术有限公司营销中心副总经理付永强介绍了国仪量子扫描电镜的业务情况与发展规划。作为一家年轻的科学仪器公司，国仪量子于2019年推出扫描电镜，并将其作为四大业务领域之一，先后掌握了电子光学系统、超高真空系统、扫描技术、真空样品台等核心技术。发展规划方面，包括高投入，建设研发生产线，提供稳定可靠产品；供应链上下游充分沟通合作，降低成本；强化应用，2个电镜应用实验室，6名专职应用工程师，多个合作实验室等。

议题发言最后，论坛在场专家和企业家代表针对议题发言及电镜产业化问题等进行了开放讨论。

部分讨论环节发言专家（按发言顺序，部分发言摘要如下）

西安交通大学康永锋教授从电子光学学科及人才培养方面谈了自己的看法。首先，从科学研究角度，西安交大在上世纪90年代将其像差分析理论用在电镜高分辨像差理论中，具有高阶像差计算方便的优点，目前已经覆盖了电镜所有部件，建立了五级像差等，这些都是我国发展高分辨电镜的一个基础和工具。中国在电子显微镜发展方面西安交大作出很大贡献，包括现在所有电镜采用的物镜结构等都有西安交大的贡献，所以我们有信心能够把国家的电子显微镜产业一直推进至国际前列。其次，关于人才培养，电子光学学科在某一段时间以来，面临着萎缩的局面。他希望能为光电学科作出贡献的基础上做一些工作，除了理论研究、人才培养方面外，今年准备出一本新的电子光学教材，希望能对电子光学方面人才培养起到一定的支撑作用。

中科院深圳先进技术研究院赵海涛副研究员分享了合作需求。表示该院将搭建高端科研仪器研制中心，主要推动自主研制电镜等仪器，打造功能强大，配置优良高效率的实验分析测试服务和学科交叉的重要平台，围绕产业升级对高端科研仪器的基础需求布局国际一流的软硬件，保障各团队高效利用共享的仪器设备中心。希望广大专家可以进一步深入合作或指导工作。

中国科学院物理研究所白雪冬研究员表示，当下确实是大家如何群策群力把产业化推向更高水平的关键时机，自己认为要有所为有所不为，高端电镜或核心部件很难短期研制成功，但如果我们首先做一些配件或做一些代工，这些都是有意义的。另外电镜附件一些功能的拓展方面，国内做的比较多，比如百实创、泽攸科技做的一些原位方面的工作，类似的功能拓展与国外差别并不大，大家都在同一起跑线，希望国内产品能够在更多国际舞台亮相，与国际品牌同台竞争来提高整体竞争力。另外就是如何形成有序竞争，如何大家既能团结，又能各有侧重，把每个有特色的技术做到极致，这些是我们科研人员、企业与相关领域人才等多方同心合力发展的一个方向。

东南大学孙立涛教授表示，就目前科技战而言，我们有很多关键技术被卡脖子，从短期和长期看，短板都需要去努力做。要有更多人投入科技这个行业，从长远讲，都需要大力支持。而且我们具备了天时地利与人和的时机，无论是国际环境下中国迎来的机会，还是国内良好的发展氛围，今天大家能够聚在一起重视这件事，在电镜领域也是一个非常好的开端。另外，我们需要找到真正的产业需求，以上企业分享的长板和短板都值得进一步探讨，探讨如何做的更好。同时，个人角度也愿意去做一些事情，无论是作为江苏省真空学会理事长所负责的真空领域，还是在光电倍增等方面，大家有需求都可以寻求合作，共同推进中国电镜产业发展。

武汉大学王建波教授表示，武汉大学近两年采购了过亿元的仪器设备，进口品牌居多，为前沿科技提供支撑的科研设备出口，都会具有专属排他性，真正顶尖的技术不会以商化的产品购买到，因此，追求顶尖技术最终还是要依赖我们自己厂商把国产仪器做好。所以本次参会也抱着很大期望，相信大家可以把产业化共同做好，包括从电子光学基础学科，到电镜、到相关附件等。

北京工业大学张跃飞研究员表示，刚刚百实创公司介绍了透射电镜原位系统，自己负责该重大专项扫描电镜的原位高温拉伸和高温成像方面的成果转化，该成果已在杭州桐庐落地转化，于2019年成立祺跃科技公司，并逐渐推出一些产品。产业化过程中也面临一些问题，比如一些部件还没有完全自主，人才需求不能满足等。也很欢迎与更多专家或企业合作，一起解决疑难，共同推进国产仪器的进步。

武汉理工大学吴劲松教授表示，许多高端科学仪器都面临卡脖子的可能。电镜产业化而言，国内有许多方面都有希望，比如现在电镜关键的部件透镜，主流的是磁透镜来做，也有电场透镜，电场透镜制造工艺很难，这就会给我们一些机会，比如电场做凹透镜、凸透镜，以及两者叠加的球差校正等新思路等。另外球差校正电镜近几年的发展主要是在CCD方面的重大突破，那么在CCD或探测器等原位配置方面都有可能为国内市场乃至国外市场带来机会。

上海交通大学刘攀教授表示，本次论坛认识到许多国产电镜技术，而且一些已经达到进口指标，有些可以作为高校采购的选择对象。另外也建议国产的这些优秀产品，扫描电镜或透射电镜拓展型系统，如百实创、厦门超新芯、祺跃科技等能够在一线或二线城市也建立用户体检中心，让更多用户能够接触与认识。

韩立研究员表示，听完大家的分享，让人感觉到国内对于电镜产业化的热情关注，且相应产业化内容也已非常丰富，而在几年前很少有人关注电镜产业化这件事，这对于电镜发展而言是很好的阶段。首先，大家应该更加重视关键部件，真正电镜取得突破都是关键部件的突破，虽然关键部件确实钱少，但确实能解决大问题，这需要企业和研究院所共同去推动。另外，国内科学仪器企业要关注科学仪器的先进性，科学仪器行业必须重视技术的先进性；最后，科学仪器不能急功近利，需要遵循市场周期与自然规律，需要逐渐积累发展。

工信部电子五所高级工程师施明哲表示，首先，政府应该大力支持有特色的国产企业，比如类似新能源汽车，设置一定的补贴。其次，是人才培养问题，电子光学是电镜技术的基础，但能开设这门学科的学校却很少，尤其是电子光学专业的中高层次的设计人员，这是亟需补救的问题。

在会议小结中，韩晓东教授感谢了各位专家和企业代表的出席，并表示，本次论坛让我们看到电镜领域已经有了我们中国自己的企业。企业家与科学家的深入交流，能够产生更高层次的创新，今天具有起航的意义。再次感谢大家的积极发言与建议，会后，会务组会整理会议内容，形成建议，通过各种渠道呼吁支持电镜产业化进程。另外，也感谢国家快速发展下给大家提供的机遇。卡脖子的芯片与叶片背后是科技，科技的背后是科学仪器。科学仪器决定了一个国家原始创新的科学水平，决定其科技发展力量和总体科技发展水平。最后，如大家提出的愿望，希望中国电镜事业在十到十五年内，有更多显微原创性技术从中国产出，助力中国科技创新强国！

最后，关于中国电镜产业化更多建议或意见，欢迎扫以下二维码填写以下建议，我们将整理汇总提交至相关部门，共同促进中国电镜产业化发展。

首届中国电镜产业化发展论坛参会嘉宾代表合影留念