进口仪器占比95%，J.A.Woollam、HORIBA最受欢迎—全国共享椭偏仪盘点

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。

近年来，由于以京东方、华星光电为代表的国产显示器件制造商的崛起，椭偏仪的销量不断攀升，带动了一批以颐光科技、量拓等为代表的国产椭偏仪制造商，但一直以来，椭偏仪在科研院所等研究单位的情况缺乏调查。不过，中央及各级政府在近几年来制订颁布了关于科学仪器、科研数据等科技资源的共享与平台建设文件。2021年1月22日，科技部和财政部联合发布《科技部 财政部关于开展2021年度国家科技基础条件资源调查工作的通知（国科发基〔2020〕342号）》，全国众多高校和科研院所将各种科学仪器上传共享。其中，对椭偏仪的统计分析或可一定程度反映科研用椭偏仪的市场信息。

不同地区（省/市/自治区）椭偏仪分布情况

北京各高校及研究所椭偏仪数量分布情况

据统计，网络管理平台椭偏仪的总数量为132台，涉及23省（直辖市/自治区）。其中，北京、江苏、上海、广东的共享椭偏仪数量最多，分别为30台、16台、16台和12台，北京椭偏仪数量较多，主要是由于其实力强劲的高等院校较多，科研经费充足，可以购买更多的设备。以上四个地区的经济发展水平在全国名列前茅，而且半导体产业发达，对椭偏仪的需求也更高。进一步统计，北京涉及16所高校及研究院所，其中清华大学、中国科学院微电子研究所和中国计量科学研究院的共享椭偏仪数量最多。

椭偏仪品牌分布

从不同品牌椭偏仪数量分布来看，J. A. Woollam占比最多达38%，其次为Horiba和Sentech分别占比23%和11%，Semilab以6%的份额排第四。值得注意的是，前两名J. A. Woollam和Horiba在椭偏仪市场中的占比合计超过了60%，而国产品牌颐光科技占比仅2%。

椭偏仪产地分布

从椭偏仪的产地分布可以看出，进口设备中美国产椭偏仪最受科研用户青睐，占比达43%，国产椭偏仪占仅5%。统计结果表明，中国品牌包括了颐光科技、量拓、光机所等厂商。

本次椭偏仪盘点中，涉及品牌有J. A. Woollam、Sopra、Semilab、Horiba、Accurion、Sentech、Photonics、上海光机所、JASCO、颐光科技、Angstrom Sun、J.A.Wollam、量拓科技等。