围观半导体企业硅材料测试实验室都在用哪些仪器？

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分享： 2021/03/19 15:41:29

导读：仪器信息网将知名半导体企业购置的硅材料测试仪器整理成仪器清单。

硅材料是半导体行业应用最广泛的半导体材料，是集成电路晶圆制造的主要原料。

集成电路材料产业技术创新联盟联合分析检测与技术合作服务平台是材料联盟牵头，由多家半导体领域高校、企业及实验室等共建单位积极参与建设的专业化服务平台，目前共发布320多台仪器，涉及硅材料、光刻材料、电子气体、工艺化学品、封装材料、抛光材料、溅射靶材等多个不同领域。仪器信息网特将其中硅材料测试仪器进行整理，看知名半导体企业及实验室都购置了哪些硅材料测试仪器。（所统计仪器，部分仪器可能存在并列或包含关系，未进行区分）

硅材料测试用仪器共55台（套），其中电子天平、电感耦合等离子质谱仪数量最多。

硅材料测试用仪器数量统计

仪器	台（套）数量
电子天平	4
电感耦合等离子体质谱仪	4
微控数显电加热板	2
数字式硅晶体少子寿命测试仪	2
磷检区熔炉	2
激光粒子计数器	2
等离子聚焦离子束	2
紫外/可见分光光度计	1
原子力显微镜	1
研磨机	1
硝酸提纯仪	1
显微红外分析仪	1
微机控制万能（拉力）试验机	1
微波消解仪	1
透视式电子显微镜	1
透射电子显微镜	1
少子寿命分析仪	1
扫描电镜系统	1
三维光学轮廓仪	1
能量色散型X射线荧光分析仪	1
纳米粒度仪	1
两探针电阻率测试仪	1
离子色谱仪	1
离子色谱	1
扩展电阻测试仪	1
聚焦离子束	1
精密研磨机	1
精密切割机	1
金相显微镜	1
激光散射粒径分布分析仪	1
傅立叶变换红外光谱仪	1
非金属膜厚仪	1
飞行时间二次离子质谱仪	1
多功能颗粒计数仪	1
电感耦合等离子体发射光谱仪	1
电感耦合等离子发射光谱仪	1
低温傅立叶变换红外光谱仪	1
低温傅里叶变换红外光谱仪	1
导电型号测试仪	1
超纯水系统	1
半导体参数测试仪	1
α-粒子计数器	1
CNC视像测量系统(三次元)	1
3D立体显微镜	1

仪器所属单位中，55台（套）仪器分别来自于9家半导体企业及实验室。

仪器所属企业统计

单位名称	台（套）数量
江苏鑫华半导体材料科技有限公司	23
工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）	16
上海新安纳电子科技有限公司	5
南京国盛电子有限公司	3
洛阳中硅高科技有限公司	3
无锡华润上华科技有限公司	2
沁阳国顺硅源光电气体有限公司	1
纳瑞科技（北京）有限公司	1
江阴江化微电子材料股份有限公司	1

以下为硅材料测试用仪器的具体信息：

硅材料测试仪器及型号

仪器	型号	所属单位
飞行时间二次离子质谱仪	TOF.SIMS 5	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
非金属膜厚仪	3100	江阴江化微电子材料股份有限公司
金相显微镜	DM8000、DM3 XL等	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
透视式电子显微镜	Tecnai F20	无锡华润上华科技有限公司
透射电子显微镜	FEI Tecnai G 2 F20、OXFORD 能谱	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
超纯水系统	Milli-Q Advantage A10	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
能量色散型X射线荧光分析仪	EDX-720	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
聚焦离子束	FEI DB835	无锡华润上华科技有限公司
纳米粒度仪	NiComp 380 ZLS	上海新安纳电子科技有限公司
紫外/可见分光光度计	UV-MINI 1240	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
精密研磨机	UNIPOL-802	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
精密切割机	SYJ-150	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
等离子聚焦离子束	FEI-235/FEI-835/FEI-200/FEI-800	纳瑞科技（北京）有限公司
等离子聚焦离子束	双束FIB Helios G4 CX	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
离子色谱仪	ICS-900	上海新安纳电子科技有限公司
离子色谱	882 Compact IC plus	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
磷检区熔炉	WJ-FZ30A	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
磷检区熔炉	FZ 350/20	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
硝酸提纯仪	DST-4000	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
研磨机	metaserv250	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
电感耦合等离子发射光谱仪	VARIAN 710-ES	上海新安纳电子科技有限公司
电感耦合等离子体质谱仪	iCAP RQ	沁阳国顺硅源光电气体有限公司
电感耦合等离子体质谱仪	7700S	南京国盛电子有限公司
电感耦合等离子体质谱仪	8900	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
电感耦合等离子体质谱仪	7700S	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
电感耦合等离子体发射光谱仪	5100	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
电子天平	XPE504	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
电子天平	XPE105	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
电子天平	ME-204E	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
电子天平	JE1002	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
激光粒子计数器	KC-24	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
激光粒子计数器	HHPC-6+	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
激光散射粒径分布分析仪	LA-960	上海新安纳电子科技有限公司
显微红外分析仪	NicoletIS50+Continuum	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
数字式硅晶体少子寿命测试仪	LT-100C	洛阳中硅高科技有限公司
数字式硅晶体少子寿命测试仪	LT-100C	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
扫描电镜系统	冷场发射扫描电子显微镜 Regulus8230 热场发射扫描电子显微镜 MIRA3 XMH 离子溅射镀膜仪 Q150TS 能谱仪 Octane Elect Plus 电子背散射衍射仪相机 Hikari Plus X射线能谱仪 Octane Elect Su	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
扩展电阻测试仪	SSM2000	南京国盛电子有限公司
微波消解仪	MARS6	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
微机控制万能（拉力）试验机	CMT5105、6502	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
微控数显电加热板	HP51	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
微控数显电加热板	EG20B	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
少子寿命分析仪	FAaST210	南京国盛电子有限公司
导电型号测试仪	STY-3	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
多功能颗粒计数仪	AccuSizer 780 APS	上海新安纳电子科技有限公司
原子力显微镜	Dimension® Icon™	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
半导体参数测试仪	B1500/B1500A/B15005A	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
傅立叶变换红外光谱仪	Nicolet iS50	洛阳中硅高科技有限公司
低温傅里叶变换红外光谱仪	CryoSAS	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
低温傅立叶变换红外光谱仪	CryoSAS	洛阳中硅高科技有限公司
两探针电阻率测试仪	KDY-20	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
三维光学轮廓仪	VK-X250K	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
α-粒子计数器	UltraLo-1800	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
CNC视像测量系统(三次元)	O-INSPECT543	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）
3D立体显微镜	VHX-6000	工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）