谱育科技又一“国家重仪专项”通过验收：自激式全固态ICP射频源实现国产化

　　2020年11月18日，国家重大仪器设备开发专项——“自激式全固态ICP射频源研制及产业化”(2016YFF0100200)综合验收会议在北京举行。该项目自2016年立项，致力于推动我国自激式全固态ICP射频源国产化进程。

　　验收会议由科技部科技评估中心主持，以刘淑芬教授为组长的综合验收专家组分别对项目验收材料、项目目标完成情况、项目考核指标完成情况、项目成果应用推广和发挥作用、工程化与产业化情况等进行了验收。

　　经过现场听取汇报、资料审查和质询，专家组就项目相关情况进行深入讨论，一致认为该项目整体符合验收要求，研究成果达到任务书中各项考核指标，完成工程化，实现了产业化，项目顺利通过综合验收。

　　项目背景

　　本项目由聚光科技(杭州)股份有限公司牵头，旗下自孵化子公司杭州谱育科技发展有限公司(以下简称“谱育科技”)研发团队承担此次项目的仪器研发及产业化工作，该项目参与单位还有中国科学院微电子研究所、中国地质大学(武汉)、中国科学院上海硅酸盐研究所、北京海光仪器有限公司、北京普析通用仪器有限责任公司等。

　　目前，元素检测及元素检测设备的需求在不断增大;国际上ICP-MS、ICP-OES技术也已比较成熟，在核心部件ICP射频源的研究上正往自激式全固态射频电源技术方向发展。

　　国产相关仪器正处于起步阶段，在当前国际采用的主流核心技术上陷入瓶颈，竞争力较弱，导致国内高端的ICP-OES和ICP-MS设备基本依靠进口，面临进口设备价格昂贵、维护费用高、周期长等问题，亟待进一步改进以提升竞争力，实现国产化!

　　具有自主知识产权的自激式全固态ICP射频源

　　本项目研制的具有我国自主知识产权的ICP射频源，将促进国产ICP-OES和ICP-MS在技术上成熟，达到国外同等先进水平;同时实现国产化应用、本土化维护和成本降低，实现替代进口。这不仅能促进仪器企业降低成本的同时提高产品竞争力，也帮助提高国产ICP类分析仪器在整个元素检测仪器市场竞争力。

　　课题内容

　　1、本项目重点开展射频源功率放大及锁相环设计、高精度的阻抗匹配网络设计、ICP射频源的控制系统设计、射频功率检测装置等研究，攻克关键技术;基于ICP用射频电源研制、ICP射频源工程化开发，完成设备开发。

　　2、本项目基于ICP射频源，研制开发台式、在线、车载的ICP-OES和ICP-MS， 针对水、土壤环境质量检测、水质重金属污染突发事件和食品重金属检测领域等行业的需求，建立适应国内的成熟应用模式，并建立年产能500台套ICP射频源的生产线。

　　应用成果

　　研发团队经过多年技术攻关与创新，进行技术研究、设备开发并完成应用，实现产业化。

　　技术研究

　　完成基于并行推挽的射频功率放大技术

　　完成基于数值寻优的自激式阻抗网络匹配

　　完成非定值阻抗下功率测量

　　完成基于复杂基质下快速匹配

　　……

　　产品开发

　　完成具有自主知识产权的

　　自激式全固态ICP射频源仪器开发

　　应用示范及产业化

　　在3个厂家4个型号国产ICP-OES、ICP-MS上进行应用

　　在环境水样、高盐、有机、地矿等样品进行应用验证并通过

　　形成1个自激式全固态ICP射频源的生产基地

　　年产能力达到500台套以上，已经形成批量生产

谱育科技SUPEC 7000 电感耦合等离子体质谱仪

聚光科技 EXPEC 6500新一代全谱ICP-OES