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自1895年，德国物理学家伦琴发现X射线；1912年，同是德国的物理学家劳埃发展了X射线的衍射理论，X射线衍射逐步成为研究晶体物质和某些非晶态物质微观结构的有效方法。它是20世纪科学发展中最伟大的成就之一。
Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪就诞生在X射线被发现和发展的德国，在经历60载的传承后，正以其专业、专注和不断创新的理念，服务于全球各半导体单晶材料的定向检测领域！
通过对传统技术的传承和多年的持续发展，目前Freiberg Instruments已经开发出一系列用于各种形态单晶体定向的手动、半自动、全自动及定制化XRD产品。同时，Omega-scan又是一种快速、简单、可靠的测定单晶取向的方法。Freiberg Instruments是唯一提供这种高端技术的公司。
以下为XRD部分型号产品：
Omega/Theta(XRD)
用于晶圆生产厂的独立XRD
转移技术：可对多个晶锭进行定向，便于下一步线切
同时测定所有的横向方向
各种样品夹持器和传送夹具，用于线切、打磨等
晶圆自动分拣和处理
摇摆曲线测量
最高精度∶0.003°
DDCOM(XRD)
用于生产晶圆厂和研究机构的桌面型XRD
设计测量从8到225毫米直径的晶圆和晶锭
参考平面与测量平面相同
对横向晶体方向的标记选项
无需水冷最高精度∶0.01°
SDCOM(XRD)
用于生产和研究机构的桌面型XRD
能够测量非常小的晶体，最小到1 毫米，以及大晶锭
各种样品夹持器和传送夹具，用于线切、打磨等
对横向晶体方向的标记选项无需水冷
最高精度∶0.01°
[来源：弗莱贝格仪器（上海）有限公司]
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