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ZOLIX发布微纳器件光谱响应度测试系统新品

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分享: 2020/07/02 16:05:50
导读: 近日,北京卓立汉光仪器有限公司在仪器信息网发布微纳器件光谱响应度测试系统新品

微纳器件光谱响应度测试系统

DSR300系列微纳器件光谱响应度测试系统是一款专用于低微材料光电测试的系统。其功能全面,提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描,光电流扫描以及光响应速率测试。40μm探测光斑,实现百微米级探测器的*对光谱祥响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试,丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源,例如超连续白光激光器,皮秒脉冲激光器,半导体激光器,卤素灯,氙灯等,满足不同探测器测试功能的要求。是微纳器件研究的优选。

 图片1.jpg

功能:

?光谱响应度

?外量子效率

?单色光/变功率IV;

?不同辐照度IT曲线(分辨率200ms)

?不同偏压下的IT曲线

?LBIC,Mapping

?线性度测试

?响应速率测试

 

微纳器件光谱响应度测试系统主要技术参数

显微镜头

标配:10倍超长工作距离物镜,

工作距离大于17mm

NA值:0.42

光谱范围:350-800nm

选配:

1,50倍超长工作距离消色差物镜,

工作距离大于17mm

NA值:0.42

光谱范围:480-1800nm

 

2,15倍紫外物镜,

工作距离大于8.5mm

NA值:0.32

光谱范围:250-700nm

 

3,50倍超长工作距离紫外物镜,

工作距离大于12mm

NA值:0.42

光谱范围:240-500nm

 

4,40倍反射式长工作距离

工作距离大于7.8mm

NA值:0.5

光谱范围:200nm-20um

光斑中心空心

光源

选配光源

1、半导体激光器

波长:405nm,532nm,633nm,808nm,980nm可选

不稳定性:<1%

 

2、皮秒脉冲激光器

波长:375nm,405nm,488nm,785nm,976nm可选

脉宽:100ps

频率:1-20M Hz

 

3、氙灯光源

光谱范围:250nm-1800nm

不稳定性:<1%

 

4、超连续白光激光光源

光谱范围:400-2400nm

频率:0.01MHz-200MHz

脉宽:100ps

光谱仪

焦距:300mm;

相对孔径:f/3.9;

光学结构:C-T;

光谱仪分辨率:0.1nm;

倒线色散:2.7nm;

波长准确度:±0.2nm

波长重复性:±0.1nm

扫描步距:0.005nm

狭缝规格:圆孔抽拉式固定狭缝,孔径:0.2mm,0.5mm,1mm,1.5mm,2mm,2.5mm,3mm;

三光栅塔台;

光栅配置:1-120-300、1-060-500、1-030-1250,光栅尺寸:68×68mm

6档自动滤光片轮,光谱范围200-2000nm;

内置电动机械快门,软件控制快门开关;

杂散光抑制比:10-5

探针台配置

4个探针座,配20/10微米针尖探针

2米三同轴电缆,漏电流小于1pA。

真空吸附样品台。

探针座:XYZ方向12mm调节行程,0.75um调节分辨率,

0-30°调节探针角度。

LBIC Maapping

XY方向行程50mm,分辨率5um。

数釆

v锁相放大器

斩波频率:20Hz~1KHz;

频率6位显示,2.4英寸屏,320×240液晶显示;

电压输入模式:单端输入或差分输入;

电压、电流两种输入模式; 

满量程灵敏度:1nV至1V;

电流输入增益:106或108V/A;

动态储备:>100dB;

时间常数范围:10μs至3ks;

 

vkeithley2612B

量程:100nA/1A

最小信号1nA

本地噪音:100pa

分辨率100fa

通道数:2

 

vkeithley2636B

量程:1nA/1A

最小信号10pA

本地噪音:1pa

分辨率10fa

通道数:2

制冷样品台

温度范围:-196℃-600℃,(-196℃需要选择专用冷却系统)

全程温度精度/温度性:0.1℃/<0.01℃

光孔直径:2.4mm

样品区域面积:直径22mm

两个样品探针,1个LEMO接头(可增加至1探针)

工作距离:4.5-12.5mm

气密样品腔室,可充入保护性气体

独立温度控制

响应速率测试

示波器型号:MDO32

模拟带宽100MHz

采样率5GS/s

记录长度10M

时间范围:uS-S,需要配合调制激光器使用

时间范围:10nS-S,需要配合皮秒脉冲激光器使用

 

 图片2.jpg 

三维可调高稳定探针台结构,方便样品位置调节。

图片3.jpg

内置三路半导体激光器或者两路光纤激光器,外置一路激光光路。

可以引入可调单色光源,进行全光谱范围的光谱响应度测试。

测试功能曲线:

图片4.jpg

40um光斑@550nm@50倍物镜200um光纤 70um光斑@550nm@50倍物镜400um光纤

图片5.jpg

5um光斑@375nm皮秒激光器@40倍物镜

 

 图片6.jpg

紫外增强氙灯和EQ99光源的单色光能量曲线,使用40倍反射式物镜,300mm焦距光谱仪,光谱仪使用1200刻线300nm闪耀光栅,光斑直径大小80um。

创新点:

"针对微纳光电器件探测器的测试系统。监控样品位置,实现微小光斑的宽波段光谱响应度测量 宽波段显微光谱测试系统。与常规的显微系统相比较,其光源使用是宽波段光源,而不是单色光。是针对针对微纳光电器件开发的专用测试系统。"

微纳器件光谱响应度测试系统

[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载

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作者:新品发布

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