纳米柱(Nanopillar)是纳米结构领域内一种新出现的技术。纳米直径的结构共同组合成点阵,它们是一种由人工设计而成的超材料。纳米柱有许多应用,主要应用有:1.高效太阳板;2.高分辨细胞分析;3.抗细菌表面。
上图是用SU8200拍摄的纳米柱微观结构图片,纳米柱的微观结构是研究其光学性能的基础。经过化学刻蚀后,在Si片上的纳米柱结构清晰可见,顶端的锥形点为材料Au,为了提高材料的性能在表面镀了一层Ag。右图是用SEM“鸟瞰图”功能观测的直径100nm的纳米柱结构图。
左图是放大到100,000倍后的观测结果,顶端表面的Ag颗粒清晰可见。右图是用IM4000离子研磨后的截面观测图,加速电压为1.6kV,在100,000放大倍数下,BSE图像成分衬度十分明显,图中可以明显地观测到材料Au表面覆盖了一层Ag。
加速电压: 6kV
放大倍数: 200,000x
分析时间: 313 sec.
EDS: Bruker FlatQUAD
上图为大窗口SDD EDS探测器得到的能谱面扫结果。扫描时间为5min,Si基底,Au材料以及厚10nm的镀Ag层可明显地被区分。
样品提供: Prof. Masahiko Yoshino, Department of Mechanical and Control Engineering, Tokyo Institute of Technology
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[来源:日立高新技术公司]
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