日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑,占地面积小,但分辨率不输大型电镜,同时操作极其简便,几乎不用培训就可操作。
扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析,在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来,扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加,而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此,体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm,相比SU1510型号体积减小52%,重量减轻45%,功耗减小50%,且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离,安装非常灵活。
FlexSEM 1000采用最新设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器,分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能,操作简便,即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外,新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航,一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。
紧凑型VP-SEM FlexSEM 1000
(主机与供电单元可分离)
主要特点:
紧凑型设计(宽45cm),分辨率为4nm
操作简便,即使初次操作也能拍出高质量图片
新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
大窗口(30mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*1
5秒钟内完成精准快速的自动聚焦,自动亮度对比度功能
(*1 选配)
关于日立高新技术公司:
日立高新技术公司,于2013年1月,融合了X射线和热分析等核心技术,成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术,精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新,因此公司变为日立高新的子公司,同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学,扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料,产品线更丰富的日立高新技术集团,将继续引领科学领域的核心技术。
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[来源:日立高新技术公司]
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