mini扫描隧道显微镜系统研制

成果名称

Mini    扫描隧道显微镜系统研制

单位名称

中科院物理研究所

联系人

郇庆

联系邮箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研发 √已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产

合作方式

√技术转让   √技术入股   □合作开发  √其他

成果简介：
   

    这是一款工作在超高真空环境下的扫描隧道显微镜（STM）系统，具备样品的退火和溅射清理功能，并可以在原位情况下沉积各种有机/无机材料。可在从液氦温区（<10K）到室温范围内工作，降温/升温速度快,特别适合材料及相关研究人员快速表征样品。同时，该系统具有很好的稳定性，具备稳定的原子分辨能力并可获得一阶和二阶电流微分谱，经扩展后可具备与光路连结的可能和AFM功能。其主要技术指标为：
     背景气压：≤ 1x10-10Torr
     工作温度范围：8K~350K
     原位沉积:  是
     扫描范围：
     4.0μmx4.0μmx0.6μm @ RT
     1.0μmx1.0μmx0.15μm @ 8K
     分辨率：原子分辨 
     灵敏度：
     XY: ≤200Å/V   Z:≤30Å/V @ RT
     XY: ≤ 50Å/V   Z:≤ 7.5Å/V @ 8K
     恒温器类型：连续流
     降温时间（室温至≤10K）： ~2小时

应用前景：
     纳米表征和研究的重要工具，国内每年需求量在数十台。

知识产权及项目获奖情况：
     201510468456.5
     发明专利：200810114537.5和201410165949.7