愿历尽千帆,归来仍少年
成果名称 | 原子层沉积系统 | ||
单位名称 | 中科院物理研究所 | ||
联系人 | 郇庆 | 联系邮箱 | qhuan_uci@yahoo.com |
成果成熟度 | □正在研发 √已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 | ||
合作方式 | √技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他 | ||
成果简介: 原子层沉积(ALD)技术,由于采取自限性的生长模式,因此可以在原子尺度上调控沉积薄膜的厚度,从而形成具有优异的台阶覆盖性和平整性,并可用于制备高深宽比材料和对多孔纳米材料进行修饰。我们自行研制的ALD系统与市场上现有商业化产品相比,具有如下特点:1)复杂完善的管路气路,在自制控制器和软件的配合下,可高度自动化完成生长过程;2)全金属密封,适于各种类型反应;3)圆筒型反应腔体,最高烘烤温度达到350℃,前驱体及载气利用率高;4)特殊设计的样品台,适用于包括粉末样品在内的各类基底;5)可选配四极质谱和石英膜厚检测仪,对反应过程实时监控。 | |||
应用前景: |
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