飞纳台式扫描电镜落户清华大学

2016 年 3 月 1 日，飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 Phenom Pro 在清华大学通过验收。清华大学用户主要研究信息光电子技术发展领域，包括光电子器件、集成光子器件、光纤通信与光网络、光显示、光纤传感等。飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 Phenom Pro 可以满足该用户课题组所有待观测样品的测试需求。高单色性的 CeB6 灯丝为飞纳台式扫描电镜带来高分辨率的同时，也减少了用户频繁更换灯丝的烦恼，单根CeB6 灯丝的寿命可达 1500 小时，平均 2-3 年更换一次，远远超过钨灯丝平均 100 小时的寿命。以下是用户课题组样品的采用飞纳台式扫描电镜拍摄的 SEM 图片以及用户学习电镜操作和通过培训的照片：

硅片上刻蚀光器件

光刻光栅阵列

用户认真学习飞纳电镜的照片

顺利拿到培训合格证书

在用户认真学习飞纳台式扫描电镜后，顺利地拿到了培训合格证书。飞纳台式扫描电镜体积小巧，完全防震，对放置环境没有特殊要求，放在普通实验室即可。对用户来说，很有价值的一点是飞纳台式扫描电镜操作简单，15 秒抽真空，结合光学导航和全自动马达样品台，可以快速检测样品，提高课题组的科研效率。

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