2014-2015年度电镜新品盘点

　　纵观2014-2015年度的电镜新品，主要集中于扫描电镜和台式电镜，透射电镜新品数量相对较少。随着扫描电镜应用领域和用户群体的不断扩大，各主流电镜厂商都紧跟客户需求，推出了扫描电镜新产品;同时台式电镜由于其独特的优势，近年来也颇受市场欢迎，数家台式电镜生产商也都有新产品问世;透射电镜则仅有日立和日本电子有新产品推出，并主要聚焦于球差校正技术的应用。

　　扫描电镜

　　2014-2015年度，各主流电镜厂商均有扫描电镜新产品推出。其中尤为值得一提的是国产电镜仪器厂商中科科仪突破了30kV场发射电子枪、低像差物镜设计与制造等关键技术，实现国产场发射枪扫描电镜零的突破，推出了分辨率优于1.5nm@30kV的KYKY-EM8000F场发射扫描电镜。据了解，该型号仪器的销售台数已超过5台，首台产品于2014年11月21日正式交付给中国科学院大学。

中科科仪KYKY-EM8000F场发射扫描电镜

　　同时，中科科仪还对钨灯丝电镜产品进行了升级，推出了KYKY-EM6900、KYKY-EM6200等产品，进一步提高了仪器的稳定性和操作的便捷性。KYKY-2800B、3800B等老型号的电镜仪器将逐渐退出市场。

中科科仪KYKY-EM6900钨灯丝扫描电镜

　　随着扫描电镜户群体也在扩大，因而对无需太多专业技术就能操作的电镜的需求也有所增加。此外，目前样品的种类逐渐多样化，就需要电镜对可观测样品的大小和特征等的限制越来越少。

　　日立高新2014年8月推出的SU5000包含新的用户操作界面EM Wizard，使用户无需专业技能即可得到符合需求的样品图片。EM Wizard采用了经验设计理念来显著改进电镜的可操作性。自动化的设置不需要用户进行复杂的操作。用户需要做的仅仅是选择观察目标，如观察表面信息或找出材料的分布情况。同时，SU5000也允许技能熟练的用户像过去一样自由的设定操作条件。

日立高新SU5000场发射扫描电镜

　　2015年11月，日本电子(JEOL)推出了InTouchScope触控式系列扫描电镜的最新型号产品JSM-IT100。IT100是一款非常直观，并具有高通量分析能力的电镜，其设计能够帮助任何实验室简化工作流程。触摸屏操作还是传统的键盘和鼠标操作，任由实验人员选择。快速数据采集使得成像和样品分析变得简单。

日本电子JSM-IT100扫描电镜

　　热发射扫描电镜具有束流大、稳定性好、可扩展性好、分析效率高的特点，与能谱仪联用能够获得较好的定量分析结果。然而与冷场扫描电镜相比它的分辨率却稍逊一筹。近年来，电镜厂家不断改进技术，一些高端的热场扫描电镜在保持原有的技术优势的同时，分辨率也有了很大的提升。

　　2015年8月，日本电子推出了新一代通用型场发射扫描电镜JSM-7200F。JSM-7200F采用日本电子浸没式肖特基场发射电子枪专利技术。该技术在保证分辨率(1.6nm @1kV)和电子枪寿命的同时，将束流提高到300nA，可以大大增加能谱，WDS，EBSD和阴极发光等附件的分析效率和空间分辨率。

日本电子JSM-7200F场发射扫描电镜

　　2015年4月，蔡司推出了GeminiSEM系列场发射扫描电镜新品。据介绍，GeminiSEM系列电镜可用于对任意样品进行高衬度和低电压成像。其中的Gemini 500热场发射扫描电镜可提供更低的加速电压，如500V、300V来成像。同时Gemini 500特别关注提高了不导电样品在低电压下的分辨率，其在标准模式下，500V的加速电压下，二次电子图像分辨率就可以达到1.2nm。

蔡司GeminiSEM系列电镜

　　在利用扫描电镜进行大容量生物样品的观察当中，如何能够保证高分辨率、高通量分析、以及样品的连续性一直是用户关注的难题。为了解决这些问题，FEI和蔡司分别推出了相应的新产品。

　　FEI于2014年推出的Teneo VS，是在FEI 的VolumeScope扫描电镜的基础上搭载了可拆卸的钻石刀。该仪器最特别的地方在于它的多能量电子成像功能，根据不同加速电压的电子束进入样品的深度不同，可以获得不同深度的样品信息，从而在大容量样品分析中明显改善Z轴的分辨率，可分析的样品体积可达到500×500×1200立方微米。

FEI Teneo VS扫描电镜

　　蔡司则在2014年11月推出MultiSEM 505新型扫描电镜，该仪器会同时产生61条电子束，并提供每秒达到1220百万像素(每个像素尺寸为4nm)的捕获速度，如此高的捕获速度可用于大脑研究中神经组织成像。2015年10月，蔡司又推出了MultiSEM 506，实现了91条电子束同时工作，通量也大幅提升。超过2万亿像素/小时的超快成像速度使其能够进行大范围的实验。

蔡司MultiSEM 505新型扫描电镜

　　最后，在2014年，还有TESCAN ORSAY和WITec公司合作研发、并推出了拉曼光谱-扫描电镜联用系统RISE Microscopy。RISE是Raman Imaging Scanning Electron的缩写，RISE Microscopy在一个集成的显微镜系统中结合了共焦拉曼成像和扫描电子显微镜技术。这种独特的组合为显微镜用户对样品进行综合表征，提供了明显的优势。该产品获得了2015 Prism Award。

TESCAN ORSAY RISE Microscopy

　　台式电镜

　　台式电镜是一种全新的设计，它保留了大型电镜较高的放大倍数和大景深，同时一改以往电镜体积大、安装环境苛刻、操作复杂等缺点，体积小巧，可以在普通试验台上安装使用;操作简便，而且能实现数码相机一样的自动操作，使得没有电镜知识和使用经验的人员也可以获得满意的电镜图像;另外还可以安装能谱仪，实现元素分析;并且它的价格相对传统电镜较低，因而近年来颇受市场欢迎。2014-2015年间，数家台式电镜生产商都有新产品问世。

　　其中，Phenom-World(飞纳世界)共推出了三款新产品。2014年Phenom-World推出世界首款车载可移动扫描电镜，突破了传统电镜安置在固定场所、怕震动等局限性，为科学研究、生产制造带来全新的用户体验。

Phenom-World车载可移动扫描电镜

　　2014 年9 月，Phenom-World推出卓越版Phenom XL，该设备提供高、中、低三级真空，可以选配二次电子探测器;电镜腔室由原来的32 mm 扩容为100 mm x 100 mm，一次可容纳至少36 个样品;还可拓展拉伸台，压力台，大角度倾斜台、高低温样品台等功能性选件。

Phenom-World卓越版Phenom XL

　　2015年，Phenom World 发布了最新的台式电镜荧光关联显微镜 Delphi，无需在电镜和光镜之间对样品进行转移，便可对同一位置点获取荧光和电镜图像。采用专利图像自动重叠技术，无需人工校准就能得到荧光和电镜叠加照片，叠加精度50nm。该产品荣获美国《Microscopy Today 》杂志颁发的 2015 年创新发明奖。

Phenom World电镜荧光关联显微镜 Delphi

　　2014年8月，日立高新推出新款台式电镜TM3030Plus，该仪器配置了专门的高灵敏度低真空二次电子探测器，可以观察样品表面的细节信息。在低真空模式下，TM3030Plus无需样品处理就可获取二次电子图像和反射电子图像，提高了工作效率并可获取更多的样品信息，满足了如今日益增长的复杂的显微应用。

日立高新TM3030Plus台式电镜

　　2015年，日本电子推出了JCM-6000Plus NeoScope台式电镜新品。JCM-6000Plus配备了高端机型采用的高灵敏度半导体检测器，能很容易地获得样品的成分衬度信息，实现高效率的分析。另外，还继续高真空功能和二次电子检测器，在高倍率下能清楚地观察样品浅表面的微细结构。

日本电子JCM-6000Plus NeoScope台式电镜

　　2015年8月，韩国COXEM(库赛姆)推出EM-30 Plus系列台式扫描电镜新品，这是继2014年EM-30台式扫描电镜发布之后，COXEM推出的又一款台式电镜新产品。EM-30 Plus的分辨率优于5nm，放大倍数可达150,000倍。同时EM-30 Plus配置了二次电子及背散射电子探测器，可对样品进行表面形貌分析和元素衬度分析。

COXEM EM-30 Plus系列台式电镜

　　此外，Delong America公司继LVEM5 台式透射电镜之后，于2015年4月推出了新款台式透射电镜LVEM25，该电镜采用的电子加速电压范围在10-25 kV，较低的加速下，研究者不需要对样品进行染色，即可得到很高的图像对比度。同时在25 kV电压下，LVEM25还避免了低电压对样品厚度的限制要求，只需要研究者按照正常厚度要求制作样品切片即可。

Delong America LVEM5台式透射电镜

　　透射电镜

　　透射电镜新品则主要集中于球差校正技术的应用，球差校正技术的成熟应用，近年来极大的推进了透射电镜的发展，使其分辨率迅速提高，让人类向微观世界的探索能力大大增强。

　　其中，2014年5月7日，日本电子全球同步发布了新一代球差校正透射电镜JEM-ARM300F，JEOL总结了JEM-ARM200F的成功经验，并开发出了自己的12极球差校正器，加装在新一代球差校正透射电镜JEM-ARM300F上。不但大幅度提高分辨率，而且对样品的分析能力、原位观察能力、球差校正的操作方便性等都有飞跃性的提升。其TEM的保证分辨率为0.05nm。 STEM HAADF的保证分辨率为0.063nm。

日本电子JEM-ARM300F透射电镜

　　日立高新则于2015年9月推出的HF5000 200kV透射电镜，集合了日立高新的透射电镜及扫描透射电镜技术，达到了亚埃级的空间分辨率(0.1 nm或更低)，球差校正器为其标准配置。另外，HF5000采用了日立高新经过考验而被认可的冷场发射电子枪技术，并且它的镜筒和样品台经过了重新的设计，从而显著提升了仪器的性能和稳定性。该产品的推出也使得日立高新形成了120kV、200kV、300kV全系列的透射电镜产品。

日立高新HF5000 200kV透射电镜

　　同样，对于透射电镜来说如何使得操作更简便也同样至关重要。在2015年6月，日本电子推出了200kV六硼化镧透射电镜JEM-2100的升级版JEM-2100Plus。JEM-2100Plus保留JEM-2100传统电子光学系统的领先优势，将整个系统升级为64位，控制系统进一步改进，使其成为初学者也很容易上手的简单仪器。

日本电子JEM-2100Plus200kV六硼化镧透射电镜

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编辑：秦丽娟