台式扫描电镜飞纳 Phenom 在深圳清华大学研究院顺利验收

台式扫描电镜飞纳 大样品室卓越版 Phenom XL 在深圳清华大学研究院顺利验收。在台式扫描电子显微镜产品设计和研发中，荷兰 Phenom World 一直处于行业的领先位置，2015 年，Phenom World 推出了飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL ，首次将台式扫描电镜的样品腔室尺寸提高到 100mm x 100mm，同时推出了德飞荧光电镜一体机 Delphi CLEM，首将关联电镜技术发展成为台式设计。飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL 是扫描电镜中的明星产品，超大样品仓，抽真空时间快，可以显著提高测试样品的效率。Phenom XL 成像质量依旧处于台式电镜中领先位置，其二次电子图像质量已广泛得到客户的认可，Phenom XL 的 CeB6 灯丝和真空度重新设计是确保二次电子图像令人惊叹的原因。同时，Phenom XL 延续了前几代产品操作简单，维护方便的特点。为客户创造最大价值是飞纳电镜一直追求的目标，这也将推动电子显微镜技术的不断发展。随着安装验收的顺利完成，深圳清华大学研究院采购本桌面扫描电镜之后可以部分替代场发射 SEM 的功能，减轻筛样压力。令人惊喜的是，在现场的培训过程中发现：某些样品用飞纳小电镜拍出来的效果比场发射电镜拍出来的效果更好。详情如下：

图1 电极材料样品25000倍未喷金照片

图1 显示的是石墨块表面的纳米纤维结构，由于纳米纤维是高分子材料，直径只有 27nm 左右，非常脆弱，在电镜内部的高压下容易发生“烧断”的情况，观察起来要选择合适的加速电压、束流和工作距离。而采用飞纳台式扫描电子显微镜可以实现任何电压下都不会烧断，而且基本上能够实现较好的分辨率效果，可以比较清晰地看到纤维和石墨颗粒。究其原因，主要是由于飞纳电镜高亮度灯丝配合低真空，可以实现此样品不喷金直接观察，有效避免喷金过程可能对样品本身比较脆弱的纳米纤维造成伤害，再加上大仓版 Phenom XL 配备的高清二次电子探测器（SED），对电子发射率比较低的轻质碳材料依然具备较高的分辨率。

图2 银纳米线分别在 10000 倍和 80000 倍未喷金照片

图2 中，显示的是另外一个样品银纳米线的照片，可以看到在 80000 倍下飞纳扫描电镜的分辨率效果：经过测量，较细小的银纳米线是 27nm，而较粗的是 69.7nm，依然可以较清晰分辨。能够不喷金直接看到较细小的纳米线对于用户来讲，可以大大提高实验效率，在数分钟之内筛选出比较理想的试验结果，进而确定下一步工作计划。

图3 培训结束时合影

深圳清华大学研究院的用户顺利地通过了培训，飞纳电镜的工程师为用户颁发了培训合格证书。衷心祝愿飞纳桌面SEM可以在深圳清华大学研究院拍出更多更清晰的照片，帮助科研工作顺利进行，发挥更大的作用！

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